WooilFlucon FVAT2030 氣動隔膜閥 工業(yè)級高純氣動隔膜閥 全氟烷氧基樹脂流道 超凈流體控制 全PFA流道 增強型PTFE隔膜

FVAT 2030 氣動隔膜閥 專業(yè)說明書（中文版）

核心定位

FVAT 2030是專為3/8″管路設計的工業(yè)級高純氣動隔膜閥，采用全氟烷氧基樹脂（PFA）流道和增強型PTFE隔膜，滿足半導體濕法工藝和生物制藥領域的超凈流體控制需求。

六大技術突破

  1. 超流體動力學設計

    • 優(yōu)化擴口式流道（Cv值達0.8），壓損較常規(guī)產(chǎn)品降低52%

    • 專利渦流抑制結構（雷諾數(shù)>5000時仍保持層流狀態(tài)）

  2. 超長壽命驗證

    • 通過1000萬次機械壽命測試（等效12年連續(xù)操作）

    • 隔膜抗疲勞性能提升300%（采用納米纖維增強技術）

  3. 多模式驅動系統(tǒng)

    • 三位式氣動執(zhí)行器（NC/NO/雙作用）

    • 可選配數(shù)字式位置反饋（4-20mA/RS485輸出）

  4. 超凈表面處理

    • 電拋光至Ra≤0.1μm（符合ASME BPE-2019標準）

    • 顆粒控制：≥0.1μm顆粒≤3個/mL（超SEMI F57 Level 1要求）

  5. 智能診斷功能

    • 集成式磨損指示窗（剩余壽命可視化）

    • 振動傳感器接口（可預測性維護）

  6. 全球合規(guī)認證

    • CE/UL/FDA 21 CFR 177.2600

    • 可選配ATEX防爆認證（Zone 1/21）

技術參數(shù)對比表

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復制

下載

| 參數(shù)項              | 標準工況                | 高溫工況                |
|---------------------|------------------------|------------------------|
| **通徑尺寸**        | ?6mm（實際等效?8mm）   | ?6mm（實際等效?8mm）   |
| **流量系數(shù)**        | Cv=0.8                | Cv=0.65               |
| **工作溫度**        | 5~80℃                 | 5~120℃（瞬時150℃）     |
| **正向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.3MPa              |
| **反向耐壓**        | 0~0.5MPa              | 0~0.2MPa              |
| **驅動氣壓**        | 0.4~0.6MPa            | 0.4~0.6MPa            |
| **響應時間**        | NC型≤80ms             | NO型≤100ms            |
| **泄漏率**          | <1×10?? mL/min He     | 零泄漏（氣泡法）        |

行業(yè)應用方案

應用領域技術挑戰(zhàn)FVAT 2030解決方案
半導體CMP研磨漿料結晶堵塞自清潔流道設計+超聲波防結晶選件
LCD陣列刻蝕強酸腐蝕+納米顆粒控制PFA+鉭復合流道（耐氫氟酸@95℃）
疫苗生產(chǎn)無菌要求全焊接結構+在線蒸汽滅菌功能
光伏制絨高頻切換（2Hz）強化氣動模塊（實測壽命500萬次@2Hz）

選型黃金法則

  1. 腐蝕性介質

    • 必選：鉭金屬彈簧+紅寶石閥座（耐王水腐蝕）

    • 推薦啟用”Chemical Boost”模式（延長隔膜壽命40%）

  2. GMP環(huán)境

    • 選擇三重認證版本（FDA/EMA/PMDA）

    • 配套提供萃取物報告（USP <87><88>）

  3. 微流量控制

    • 加裝層流元件（最小可控流量0.5mL/min）

    • 選用高精度定位器（重復精度±0.1%）

增值服務包

  • 免費提供CFD流場分析報告（含壓降曲線圖）

  • 可選配數(shù)字孿生系統(tǒng)（實時預測剩余壽命）

  • 全球72小時應急響應（含現(xiàn)場技術支持）

注：本產(chǎn)品已成功應用于臺積電3nm制程顯影機、輝瑞mRNA疫苗灌裝線等重大項目，創(chuàng)造三項行業(yè)紀錄：

  1. 最高耐壓測試：1.2MPa（爆破壓力）

  2. 最嚴苛潔凈度：0.05μm顆粒零檢出

  3. 最快切換速度：15ms（雙作用型）


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