FW 6600 數(shù)字式氣體流量調(diào)節(jié)計
產(chǎn)品類型
規(guī)格書
[DigitalFlowMeter-FW6600.pdf]
產(chǎn)品說明
采用?MEMS傳感器?進行流量測量
特點
適用于?Air（空氣）、N?、O?、Ar、CO??等氣體
內(nèi)置閥門型
配備用于流量調(diào)節(jié)的?針閥（Needle Valve）
支持流量水平監(jiān)控的?報警輸出
可定制?用戶指定流量測量范圍
電源：3.6 ~ 24V DC（50mA）
應用領(lǐng)域
半導體設(shè)備及研究設(shè)備的氣體管路
通過自帶針閥實現(xiàn)?流量精密控制
適用于?小型實驗室?等公用設(shè)施流量測量
各類?檢測設(shè)備的采樣管路?流量測量及控制
微生物、化學、制藥?等高純度流體應用領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
適用氣體：Air、N?、O?、Ar、CO?
流量范圍：
Air、N?、O?、Ar：1、2、5、10、20、50、70 SLPM（標準升/分鐘）
CO?：1、2、5、10、20、40 SLPM
精度：±2.0% F.S
重復性：0.5% F.S
工作溫度：-10 ~ +55℃
最大耐壓：1.0MPa
電源供應：3.6 ~ 24V DC（50mA），鋰電池?ER14250
數(shù)字輸出：RS485 Modbus（半雙工）
