無狀態(tài)材料的低成本大容量流量計
用簡易結構的低價型開發(fā)的流量計，折疊部使用SUS316材料，塔伯管使用borosilicate glass。
使用后可用于各種gas和chemical，特別是以水為基準的100liter/min的大容量流量計。

-以水為基準測量到100 liter/min的大流量
-一個簡單的結構
– Gas、chemical、pcw對應
-硼硅酸鹽類的優(yōu)良耐化學性
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-允許各種連接方向和線性管路
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進行超聲波清洗，并在clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝

-半導體、LCD設備的gas、chemical供應線
-高壓力的PCW線
– 100liter/min大流量設備
-降低設備成本
-各種角度的管道結構流量計

-應用流體:氣體、液體(viscosity < 5.0cP)
-測量流量:
Water – Min 30LPM / Max 100LPM
Gas- Min 700LPM / Max 2000LPM
-測量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:87 bar
-使用溫度:Max 0~90℃