以簡易結(jié)構(gòu)的低價型開發(fā)的流量計，折流桿使用SUS316材料，tube是使用borosilicate glass的中容量流量計，通過多種連接方向選擇，可以從多個角度管道。

– Buffing處理的無狀態(tài)body
– Gas、chemical、PCW對應(yīng)
-硼硅酸鹽類的優(yōu)良耐化學(xué)性
-流量級別監(jiān)視的alarm輸出
-允許各種連接方向和線性管路
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進行超聲波清洗，并在clean room進行真空包裝。
-在潔凈室組裝

半導(dǎo)體、LCD設(shè)備的gas、化學(xué)補給線
高壓力的PCW線
降低設(shè)備成本
各種角度管道結(jié)構(gòu)流量計

-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:
Water – Min 3 LPM/ Max 20 LPM
Gas – Min 50 LPM/ Max 600 LPM
-測量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:87 bar
-使用溫度:Max 90℃