FW1100系列是用于小流量測量的標(biāo)準(zhǔn)流量計。
折液部將SUS316作為外觀經(jīng)過鋁退火處理的美觀body的擁有量,適用于各種腐蝕性Gas及Chemical和DI Water的使用,有3種型號。
特點
– 1110、1120和1130三種型號
– DI water、Gas和Chemical響應(yīng)
-以水為基準(zhǔn)20cc/min的微笑流量可測量
– 100% 1比1流量calibration
-可輸出新值以調(diào)節(jié)流量
-訂單人規(guī)格的連接應(yīng)用
-制作訂購者規(guī)格的流量測量范圍。
-用DI water進(jìn)行超聲波清洗和真空包裝
-在潔凈室組裝
應(yīng)用
-半導(dǎo)體設(shè)備的DI water、Gas、Chemical供應(yīng)線
-用自近鄰閥精確控制流量
-測量小型研究所等實用程序的流量
——各種儀器設(shè)備的三棱線流量測量與控制
-微生物、化學(xué)、醫(yī)藥等高純度流體使用領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
-應(yīng)用流體:氣體、液體(viscosity 5.0cP)
-測量流量:
Water – Min 20 CCM / Max 2 LPM
Gas – Min 0.5 LPM / Max 70 LPM
-測量誤差:3%全比例
-最大使用壓力:10 Bar (1.0Mpa)
-破裂壓力:58 Bar
-使用溫度:0 ~ 90℃