Wooil Flucon 超聲波流量計 FW1510 低流量特氟龍流量計

濕部件和流量計主體由PFA或PVC制成，錐形管采用硼硅酸鹽玻璃構造。是去離子水、氣體和化學工藝中的最佳中型流量計

中流量范圍可達3~10 LPM

• 內(nèi)置控制閥：便于流量的調(diào)節(jié)與控制。
• 強化學耐腐蝕性：材質(zhì)選擇確保了流量計能抵抗多種化學物質(zhì)的侵蝕。
• 流量液位傳感器報警：當流量達到預設閾值時，會自動觸發(fā)報警。
• 面板安裝靈活：支持正面和反面安裝，滿足多樣化的安裝需求。
• 寬流量范圍可選：可根據(jù)客戶需求提供不同流量范圍的流量計。
• 清潔室超聲波去離子水清洗及真空包裝：在清潔室內(nèi)進行專業(yè)清洗和包裝，確保產(chǎn)品潔凈度。
• 在100級清潔室內(nèi)組裝：在嚴格控制的無塵環(huán)境中組裝，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

半導體濕法工藝中化學供給線的去離子水

• 通過內(nèi)置控制閥實現(xiàn)精確控制：內(nèi)置的控制閥能夠精確地調(diào)節(jié)和控制流體的流量，確保半導體濕法工藝中的化學供給線穩(wěn)定、準確地提供所需的去離子水。
• 濕部件采用多種材質(zhì)以適應不同類型的氣體和液體：根據(jù)所處理的氣體或液體的性質(zhì)，濕部件（即與流體直接接觸的部件）可以采用不同的材質(zhì)制成，以確保流量計在各種化學環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐用性。這種設計使得該流量計能夠廣泛應用于半導體濕法工藝中的各種化學供給線，滿足多樣化的流體測量需求。

• 流體：氣體、液體（粘度<5.0cP）

  測量范圍：

  • 水：最小3LPM（升每分鐘）/最大10LPM
  • 氣體：最小50LPM（升每分鐘）/最大200LPM

  準確度：±3%滿量程

  最大工作壓力：10巴

  爆破壓力：25巴

  工作溫度：0℃ ~ 50℃（短期可達90℃）