美國 UNIVERSITY WAFER Epi-Ready 經(jīng)過表面處理、適合用于外延生長的單晶硅片

美國 UNIVERSITY WAFER Epi-Ready 經(jīng)過表面處理、適合用于外延生長的單晶硅片

在襯底上生長雙外延層

一位半導(dǎo)體器件工程師要求提供以下報價：

你們可以在 4 英寸 N+ 基材上種植雙外延層嗎？詳情請見下文。

UniversityWafer， Inc. 報價：

我們提供：

項目數(shù)量 描述
HJ48.?25/50/100 p/n/n+ 外延片，4“ （100.0±0.5mm）?×420±25μm
襯底：n 型 Si：As[111-4°]±0.5°，Ro=（0.0015-0.0030）Ohmcm，TTV
<5μm，弓形<40μm，翹曲<40μm，TIR<6μm，
單面拋光，背面蝕刻，1 SEMI 平面，邊緣：圓形，
背面密封：17.5±2.5μm?傳質(zhì)單層硅（防止自動摻雜所必需的），

EPI 第 1 層：20±2μm 厚，n 型 Si：P，Ro=4.6±0.4Ohmcm，EPI
第 2 層（頂層）：25.0±2.5μm 厚，p 型 Si：B，Ro=0.0100±0.0001hmcm，
整體：SF<10/cm2，滑點(diǎn)<0.15（邊緣排除 3mm），LPD≤5 @>20μm，總 LLS≤16@>0.5μm，霧度，異物，劃痕，邊緣碎屑：全部無， 其他每個 SEMI，密封在 Empak 或等效盒中。

UniversityWafer， Inc. 提供為需要超潔凈、無缺陷活性層的應(yīng)用量身定制的外延涂層硅晶圓。這些晶圓非常適合高性能?CMOS 圖像傳感器、功率器件和?RFIC，在這些應(yīng)用中，精確控制摻雜曲線至關(guān)重要。

我們的外延片在重?fù)诫s單晶硅襯底上使用化學(xué)氣相沉積 （CVD） 生長，提供卓越的電氣性能和器件可靠性。

  • CMOS 圖像傳感器?– 低暗電流、高動態(tài)范圍

  • 功率器件 （IGBT， MOSFET）?– 改進(jìn)的擊穿電壓和開關(guān)速度

  • RF 和微波電路?– 增強(qiáng)的信號隔離和線性度

  • 光電探測器和光電二極管?– 低缺陷密度、高純度層

  • MEMS 器件?– 兼容深溝槽和高深寬比蝕刻

參數(shù)典型值
晶圓直徑100 毫米、150 毫米、200 毫米、300 毫米
取向<100>、<111>
Epi Layer Thickness2 微米 – 20 微米
外延層電阻率5–25 Ohm·cm（可定制）
襯底電阻率0.01–0.05 歐姆·厘米
摻雜類型P 型或 N 型（Bor、Phos、Arsenic）
表面光潔度DSP、SSP、Prime 級

6“ 外延硅片

項目庫存數(shù)量酶作用物EPI評論
大小類型分辨率 Ωcm沖浪。厚 μm類型分辨率 Ωcm
G541 系列1506 英寸直徑 x 675 微米n- 硅：磷[100]0.001-0.002P/EOx0.016n- 硅：磷0.32-0.46不 / n+

4“ 外延硅片

項目庫存數(shù)量酶作用物EPI評論
大小類型分辨率 Ωcm沖浪。厚 μm類型分辨率 Ωcm
編號 D27464 英寸直徑 x 360 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅：磷360 – 440不 / n+
E4_15184 英寸直徑 x 400 微米p- 硅：B[111]0.01-0.10市盈率6.5
22±1.5		p- 硅：B
p- 硅：B		3,6±10%
300±50		市盈率/市盈率+
E4_13474 英寸直徑 x 525 微米p- 硅：B[111]0.01-0.02市盈率（英文） 8.1±1
元 6.85±0.75 元		p- 硅：B
p- 硅：B		4.5±10%
0.75±0.15		市盈率/市盈率+
E4_10464 英寸直徑 x 380 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020P/EOx10.5p- 硅：B570±10%市盈率+
E4_2234 英寸直徑 x 440 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020市盈率20p- 硅：B0.15 ±10%市盈率+
E4_10644 英寸直徑 x 440 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020市盈率20p- 硅：B0.25±10%市盈率+
E4_10574 英寸直徑 x 525 微米p- 硅：B[111]0.001-0.005市盈率20p- 硅：B175±10%市盈率+
E4_26104 英寸直徑 x 440 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020市盈率21p- 硅：B150 ±10%市盈率+
E4_10784 英寸直徑 x 380 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020P/EOx23p- 硅：B200±10%市盈率+
E4_10894 英寸直徑 x 380 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020P/EOx23p- 硅：B80±10%市盈率+
E4_4244 英寸直徑 x 440 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020市盈率32p- 硅：B600 ±10%市盈率+
E4_10984 英寸直徑 x 440 微米p- 硅：B[111]0.01-0.02市盈率32.5p- 硅：B100±10%市盈率+
E4_2154 英寸直徑 x 380 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020P/EOx40p- 硅：B550 ±10%市盈率+
E4_13334 英寸直徑 x 525 微米p- 硅：B[111]0.01-0.02市盈率14
10		n- 硅：P
p- 硅：B		2.5±0.3
15		N/P/P+
E4_13524 英寸直徑 x 525 微米p- 硅：B[111]0.01-0.02市盈率14
10		n- 硅：P
p- 硅：B		2.5±10%
9±10%		n/p/p+
E4_11384 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率20
10		p- 硅：B
n- 硅：P		10±1.5
5.5±0.7		P/N/N+
E4_12754 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率33
10		p- 硅：B
n- 硅：P		12±10%
4±10%		P/N/N+
E4_14794 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率33±5
9 元		p- 硅：B
n- 硅：P		12±2
4		P/N/N+
E4_12864 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率37
16.5		p- 硅：B
n- 硅：P		35±10%
12.5±10%		P/N/N+
E4_12474 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率45
7±1		p- 硅：B
n- 硅：P		13±10%
12±10%		P/N/N+
E4_14464 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率45
7		p- 硅：B
n- 硅：P		14.5±10%
12±10%		P/N/N+
E4_13284 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.002-0.005市盈率88
88 元		p- 硅：B
n- 硅：P		票價 80,5±10%
27±10%		P/N/N+
E4_14574 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.002-0.005市盈率105
26 元		p- 硅：B
n- 硅：P		0.0035±10%
5±10%		P/N/N+
E4_12254 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率10.15
6.8±0.8		n- 硅：P
n- 硅：P		3,8±0.5
0,55±0.15 元		不 / 否 / 否+
E4_8494 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx16.5n- 硅：磷35 ±10%不 / N+
E4_14384 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.002-0.005市盈率19±1.3
54.5±3.6		n- 硅：P
n- 硅：P		25±5
4.4		不 / 否 / 否+
E4_6894 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.001-0.005P/EOx20n- 硅：磷270 ±10%不 / N+
E4_9084 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷0.09 ±10%不 / N+
E4_10254 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷90±10%不 / N+
E4_8994 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷0.07 ±10%不 / N+
E4_9194 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷0.13 ±10%不 / N+
E4_92114 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷0.15 ±10%不 / N+
E4_9374 英寸直徑 x 400 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷0.19 ±10%不 / N+
E4_3074 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率20n- 硅：磷65 ±10%不 / N+
E4_11654 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率20
10		n- 硅：P
n- 硅：P		7±10%
2±0.4		不 / 否 / 否+
E4_6984 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.001-0.005P/EOx21n- 硅：磷150 ±10%不 / N+
E4_117114 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率22.5
28.5		n- 硅：P
n- 硅：P		12±10%
2±10%		不 / 否 / 否+
E4_12994 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率26
11		n- 硅：P
n- 硅：P		18±10%
2±10%		不 / 否 / 否+
E4_5494 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率27n- 硅：磷220 ±10%不 / N+
E4_52154 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率27.5n- 硅：磷>250不 / N+
E4_5394 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率28n- 硅：磷165 ±10%不 / N+
E4_125144 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率票價
28 8 – 12		n- 硅：P
n- 硅：P		11±10%
1 – 3		不 / 否 / 否+
E4_120194 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率28
9 – 11		n- 硅：P
n- 硅：P		8 – 11
1 – 3		不 / 否 / 否+
E4_111204 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率30
15
5 元		n- 硅：P
n- 硅：P
n- 硅：P		11±10%
4±10%
1.5±10%		N/N/N/N+
E4_123104 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率39.5
12		n- 硅：P
n- 硅：P		29±10%
4±10%		不 / 否 / 否+
E4_81204 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx41.5n- 硅：磷>300 ±10%不 / N+
E4_77184 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx41.5n- 硅：磷>200不 / N+
E4_1724 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅：磷600 ±10%不 / N+
E4_7984 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅：磷>200不 / N+
E4_1614 英寸直徑 x 380 微米n- Si：As[111]0.004-0.008P/EOx43n- 硅：磷340 ±10%不 / N+
E4_11564 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率50
15 元		n- 硅：P
n- 硅：P		36±4
5.4±0.7		不 / 否 / 否+
E4_24104 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅：磷66 ±10%不 / N+
E4_5994 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率78n- 硅：磷25 ±10%不 / N+
E4_5154 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005P/EOx78n- 硅：磷20 ±10%不 / N+
E4_9454 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率80n- 硅：磷17.5 ±10%不 / N+
E4_11244 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率80
10 元		n- 硅：P
n- 硅：P		60±10%
2±1		不 / 否 / 否+
E4_14674 英寸直徑 x 525 微米n- Si：As[111]0.0010-0.0035市盈率80
10 元		n- 硅：P
n- 硅：P		70±10%
2±1		不 / 否 / 否+
E4_13784 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.008-0.020市盈率22.5
15		p- 硅：B
n- 硅：P		票價 15±10%
6±0.9		P/N/N+
E4_13674 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.008-0.020市盈率38
18		p- 硅：B
n- 硅：P		票價 55±10%
10±10%		P/N/N+
E4_944 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率14n- 硅：磷4.25 ±10%不 / N+
E4_5544 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率15n- 硅：磷90 ±10%不 / N+
E4_27104 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率18n- 硅：磷0.25 ±10%不 / N+
E4_5664 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅：磷75 ±10%不 / N+
E4_5784 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅：磷136 ±10%不 / N+
E4_5834 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率20n- 硅：磷101 ±10%不 / N+
E4_9854 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.006-0.020市盈率20n- 硅：磷300±10%不 / N+
E4_9794 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.006-0.020市盈率21n- 硅：磷400±10%不 / N+
E4_100154 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率22.5n- 硅：磷12.5±10%不 / N+
E4_2164 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率25n- 硅：磷0.08 ±10%不 / N+
E4_1424 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率25n- 硅：磷0.04 ±10%不 / N+
E4_6654 英寸直徑 x 360 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率37.5n- 硅：磷270 ±10%不 / N+
E4_95104 英寸直徑 x 400 微米n- 硅：銻[111]0.006-0.020市盈率37.5n- 硅：磷85±10%不 / N+
E4_13844 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.008-0.020市盈率票價 58
15
5		n- 硅：P
n- 硅：P
n- 硅：P		60±10%
8±10%
3±10%		N/N/N/N+
E4_14894 英寸直徑 x 460 微米n- 硅：銻[111]0.007-0.020市盈率60
20 元		n- 硅：P
n- 硅：P		票價 40.5±4.5
10±2		不 / 否 / 否+
E4_6094 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率60n- 硅：磷60 ±10%不 / N+
E4_12104 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率60n- 硅：磷58.75 ±10%不 / N+
E4_1964 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率70n- 硅：磷60 ±10%不 / N+
E4_6194 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率75n- 硅：磷125 ±10%不 / N+
E4_4464 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率100n- 硅：磷420±10%不 / N+

3“ 外延硅片

項目庫存數(shù)量酶作用物EPI評論
大小類型分辨率 Ωcm沖浪。厚 μm類型分辨率 Ωcm
K827 系列43 英寸直徑 x 508 微米p- 硅：B[111]0.008-0.020市盈率12.5
140±10		p- 硅：B
n- 硅：P		2.35
33.60		p+
8611503 英寸直徑 x 381 微米n- 硅：砷[111-4°]0.001-0.005市盈率5.5n- 硅：磷0.31 – 0.33不 / n+
F667 系列1203 英寸直徑 x 525 微米n- 硅：磷[111]0.001-0.005市盈率4.5n- 硅：磷1.1 – 1.4n/n+，密封在 24 片晶圓的包埋盒中
E3_32183 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率5.5n- 硅：磷1,06±10%不 / N+
E3_4053 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率11n- 硅：磷17,5±10%不 / N+
E3_293 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷16±10%不 / N+
E3_5483 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷2.1±10%不 / N+
E3_55123 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷1.7±10%不 / N+
E3_24183 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷1.3±10%不 / N+
E3_38153 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷1.3±10%不 / N+
E3_62143 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率12n- 硅：磷1.8±10%不 / N+
E3_30153 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率13n- 硅：磷1.35±10%不 / N+
E3_4893 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率15.5n- 硅：磷9.5±10%不 / N+
E3_22123 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率15.5n- 硅：磷9.5±10%不 / N+
E3_4243 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率18n- 硅：磷0.05±10%不 / N+
E3_3203 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅：磷4,8±10%不 / N+
E3_5183 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅：磷4±10%不 / N+
E3_2753 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率22n- 硅：磷4±10%不 / N+
E3_63203 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率28n- 硅：磷16,5±10%不 / N+
E3_1763 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率28.5n- 硅：磷4±10%不 / N+
E3_2593 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率28.5n- 硅：磷20±10%不 / N+
E3_5383 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率30n- 硅：磷4.5±10%不 / N+
E3_15153 英寸直徑 x 355 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅：磷9.5±10%不 / N+
E3_16153 英寸直徑 x 355 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅：磷12±10%不 / N+
E3_5183 英寸直徑 x 355 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率34n- 硅：磷11±10%不 / N+
E3_493 英寸直徑 x 355 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率36n- 硅：磷4±10%不 / N+
E3_2353 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率37.5n- 硅：磷0.6±10%不 / N+
E3_1203 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率41n- 硅：磷25±10%不 / N+
E3_4193 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率42n- 硅：磷20,5±10%不 / N+
E3_19183 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率42.5n- 硅：磷17±10%不 / N+
E3_1483 英寸直徑 x 355 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率52.5n- 硅：磷12.5±10%不 / N+
E3_56193 英寸直徑 x 381 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率56n- 硅：磷12±10%不 / N+
E3_4583 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率70n- 硅：磷73±10%不 / N+
E3_33103 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率72n- 硅：磷12.5±10%不 / N+
E3_7193 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率73n- 硅：磷84±10%不 / N+
E3_4483 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅：磷13±10%不 / N+
E3_49183 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率75n- 硅：磷11±10%不 / N+
E3_1283 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率80n- 硅：磷12±10%不 / N+
E3_10153 英寸直徑 x 375 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅：磷22.5 ±10%不 / N+
E3_34103 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅：磷19.5±10%不 / N+
E3_20203 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率85n- 硅：磷66±10%不 / N+
E3_59183 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率90
18 元		n- 硅：P
n- 硅：P		41±10%
5±10%		不 / 否 / 否+
E3_43183 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率96n- 硅：磷30±10%不 / N+
E3_11193 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅：磷16 ±10%不 / N+
E3_1323 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅：磷12±10%不 / N+
E3_21103 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅：磷20±10%不 / N+
E3_853 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率100n- 硅：磷21±10%不 / N+
E3_37143 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率135n- 硅：磷35±10%不 / N+
E3_3943 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率140n- 硅：磷31±10%不 / N+
E3_29103 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率145n- 硅：磷38±10%不 / N+
E3_26183 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率145n- 硅：磷25±10%不 / N+
E3_933 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率150n- 硅：磷44±10%不 / N+
E3_28153 英寸直徑 x 508 微米n- Si：As[111]0.001-0.005市盈率158n- 硅：磷67±10%不 / N+
E3_31103 英寸直徑 x 381 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率8n- 硅：磷0.63±10%不 / N+
E3_35153 英寸直徑 x 381 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率22.5n- 硅：磷0.07±10%不 / N+
E3_6123 英寸直徑 x 381 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.020市盈率30n- 硅：磷6.75±10%不 / N+
E3_64103 英寸直徑 x 330 微米n- 硅：銻[111]0.005-0.018市盈率75
25 元		n- 硅：P
n- 硅：P		40±10%
2.5±10%		不 / 否 / 否+

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