Thermionics 的 RCL 系列為科研級多坩堝線性電子束蒸發(fā)源，具備 3 千瓦功率輸出，專為科研應(yīng)用設(shè)計，為高精度、高穩(wěn)定性應(yīng)用設(shè)計。，具備增強的電子束穩(wěn)定性與高效的 XY 掃描能力，實現(xiàn) 坩堝全覆蓋。配備插拔式發(fā)射模塊與掃描線圈組件，便于維護操作。該系列可提供全套電源、掃描控制器及配件（包括坩堝內(nèi)襯）。該系列具有以下特點：

• 增強的電子束穩(wěn)定性

• 高效的 XY 掃描功能

• 完整坩堝覆蓋范圍

此外，RCL 系列支持選配 自動定位換位器（Auto-Indexer），以實現(xiàn)自動換坩堝功能（需單獨購買）。

產(chǎn)品特點

• 真正的 XY 掃描，實現(xiàn)坩堝全覆蓋

• 標配掃描線圈（Sweep Coils）

• 束斑準直效果增強

• 可插拔式發(fā)射模塊，便于更換和維護

• 高穩(wěn)定性水冷系統(tǒng)

• 具備交叉污染防護設(shè)計

• 堅固耐用的工業(yè)級結(jié)構(gòu)

• 支持選配自動換坩堝裝置（Auto-Indexer）

技術(shù)規(guī)格