Thermionics HCR 系列旋轉(zhuǎn)式電子束蒸發(fā)源 Rotary e-Gun™

Thermionics 的 HCR 系列 Rotary e-Gun™ 支持 3 至 8 個(gè)坩堝配置，能夠?qū)崿F(xiàn)在一個(gè)真空循環(huán)中依次蒸發(fā)多達(dá) 8 種或以上材料。其設(shè)計(jì)專為高效多層膜沉積、多材料薄膜工藝而優(yōu)化。

標(biāo)準(zhǔn)安裝方式為 12 英寸外徑 CF 法蘭，配套自動(dòng)坩堝定位機(jī)構(gòu)（Auto Indexer）及所有必要的機(jī)械、電氣連接部件。

主要特點(diǎn)：

  • 支持 3 至 8 個(gè)坩堝位，可實(shí)現(xiàn)多材料順序沉積

  • 標(biāo)配 自動(dòng)索引器（Auto Indexer），實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)坩堝定位切換

  • 所有 機(jī)械與電氣連接均已集成，便于快速安裝與運(yùn)行

  • 標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭：12 英寸外徑（O.D.）CF 法蘭，適用于主流真空腔體接口

  • 270° 電子束偏轉(zhuǎn)角度，提高沉積覆蓋范圍

  • 多坩堝旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，便于多材料沉積

  • 可更換式坩堝組件，便于維護(hù)和更換材料

  • 長(zhǎng)壽命發(fā)射組件

  • 簡(jiǎn)便的燈絲更換設(shè)計(jì)

  • 永磁束偏轉(zhuǎn)控制，穩(wěn)定性高

  • 集成掃描線圈，實(shí)現(xiàn) X、Y 方向束斑控制

  • 提供 底部驅(qū)動(dòng) 或 側(cè)邊驅(qū)動(dòng) 兩種結(jié)構(gòu)

技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目參數(shù)說明
最大功率10 kW
發(fā)射電壓-6 至 -10 kV
發(fā)射電流0 – 1 A（連續(xù)可調(diào)）
燈絲功率700 W
束斑偏轉(zhuǎn)角度270°
束斑尺寸0.25 英寸直徑（緊束斑）
蒸發(fā)速率1 克/分鐘（@10 kW）
36,000 ?/min（鋁，距離 10″）
掃描頻率X/Y 雙向最高 200 Hz（配 Thermionics 控制器）
冷卻水要求3 gpm，20°C，壓差 50 psi
坩堝材質(zhì)OFE 高純銅（無氧銅）
烘烤溫度上限120°C（250°F）

安裝方式（選配）：

  • CF 或 PyraFlat 金屬密封法蘭安裝型（使用標(biāo)準(zhǔn) OFE 銅密封墊）

  • ?1 英寸螺栓安裝型（通過 ?1 英寸孔安裝，O 型圈密封）

  • 裸機(jī)型（無安裝法蘭）

 


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