磁耦合驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)饋通 真空傳通件 真空穿通件

稀土磁系列單旋轉(zhuǎn)和雙旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器是常規(guī)波紋管密封和其他旋轉(zhuǎn)設(shè)備的選件。它們可適用于PLD目標(biāo)時(shí)鐘以及目標(biāo)和基板的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，以及需要小外形和高性能的應(yīng)用。在真空中沒有滑動(dòng)密封或磁鐵，幾乎沒有雜散磁場(chǎng)。真空電樞由順磁性材料制成，帶有不銹鋼和氮化硅軸承，能夠反復(fù)烘烤至200°C（除去磁體）。真空軸承可用于潤滑，并且磁鐵驅(qū)動(dòng)器易于拆卸。

FRMRE-275-38

• 3/8“旋轉(zhuǎn)探針
• 外徑2.75英寸安裝法蘭
• 帶位置鎖定的手動(dòng)驅(qū)動(dòng)旋鈕
• 內(nèi)部軸承維修前旋轉(zhuǎn)4,000,000圈
• 最高烘烤溫度：200°C（已移除磁性驅(qū)動(dòng)器）
• 機(jī)械扭矩極限：150 oz / in
• 最高轉(zhuǎn)速：500 rpm
• 可移動(dòng)的釹鐵硼磁驅(qū)動(dòng)器，用于烘烤

步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

應(yīng)用：精確定位，一次定位多個(gè)軸，計(jì)算機(jī)控制的致動(dòng)

• 每轉(zhuǎn)200步
• 50 oz-in的保持扭矩（可用更高扭矩的電動(dòng)機(jī)）
• 最高轉(zhuǎn)速300 rpm
• 低慣性設(shè)計(jì)
• 手動(dòng)旋鈕
• 馬達(dá)控制器另售

同步電機(jī)驅(qū)動(dòng)

應(yīng)用范圍：粗定位，連續(xù)旋轉(zhuǎn)

• 單速72 rpm
• 2個(gè)方向
• 50 oz-in的保持扭矩（可用更高扭矩的電動(dòng)機(jī)）
• 低慣性設(shè)計(jì)
• 手動(dòng)旋鈕
• 馬達(dá)控制器另售

調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)

應(yīng)用：變速連續(xù)旋轉(zhuǎn)，無位置反饋

• 變速
• 方向可切換
• 5 – 95 RPM，50 oz-in扭矩
• 選件：
  高扭矩電動(dòng)機(jī)
  不同速度范圍
• 包括控制器
• FRMRE-275-38 / SCC如圖

雙軸旋轉(zhuǎn)饋通，F(xiàn)RRMRE-275-38 / SCC

（此處顯示的型號(hào)帶有手動(dòng)操作的外軸和
可選的/ SCC電機(jī)驅(qū)動(dòng)的內(nèi)軸）