美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,RCL 系列 3 kW 多坩堝線性噴槍™

美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,RCL 系列 3 kW 多坩堝線性噴槍™

RCL 系列 3 kW 多坩堝線性噴槍™

蒸發(fā)源
系列:RCL

Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,具有完整的坩堝覆蓋,并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位,單獨(dú)出售。

蒸發(fā)源
系列:RCL

3 kW 多坩堝線性噴槍™

Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,具有完整的坩堝覆蓋,并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位,單獨(dú)出售。

特征

  • 真正的 XY 清掃,坩堝完全覆蓋
  • 源附帶的掃頻線圈
  • 增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直
  • 插件發(fā)射器模塊
  • 增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
  • 交叉污染屏蔽
  • 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
  • 可選的自動索引器

規(guī)格

工作壓力低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇
束電壓4,000 伏直流電
束流0–750 mA
連續(xù)可變
最大功率3 千瓦
冷卻水1.5 加侖/分鐘
壓差最小 25 psi
最大烘烤
溫度
230°C (446°F)
坩堝體積2.24 cc x 3、4 或 5 個坩堝

訂購信息

描述型號
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 3 位RCL0303
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 4 位RCL0304
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 5 位RCL0305

 


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