美國Thermionics, e-Gun™,操作、運動和樣品處理,饋通件 ,RNN 旋轉(zhuǎn)密封
RNN-150™ 系列
差動泵旋轉(zhuǎn)密封 （RNN） 通過 UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。
RNN™ 系列差動泵送旋轉(zhuǎn)密封
差動泵旋轉(zhuǎn)密封 （RNN） 通過 UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN 具有兩級差動泵送，由特殊密封表面上的石墨浸漬、膨脹、特氟龍?密封件隔離。預(yù)緊的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺的位置。
RNN 提供蝸桿驅(qū)動微調(diào)選項。這允許更輕松、更準確地調(diào)整角度。RNN 還提供帶消隙步進或同步電機驅(qū)動的產(chǎn)品。
列出了內(nèi)徑最大為 12 英寸的 RNN。更大的 ID 具有卓越的性能。特殊應(yīng)用請咨詢工廠。
規(guī)格
- 標(biāo)準凈內(nèi)徑為 1.53 英寸至 12 英寸的型號，可根據(jù)要求提供更大尺寸
- 可烘烤至 150°C
- 固定法蘭和旋轉(zhuǎn)法蘭，螺紋
- 厚度約為兩個 ConFlat 型法蘭的厚度
- 2 級差壓泵送
- 極限壓力 10-11Torr 系列
- 0–360° 刻度，帶游標(biāo)
RNN-400 和更大型號的典型性能規(guī)格
- 分辨率：<0.004°
- 重復(fù)精度：<0.008°
- 背隙：<0.035°
可讀性規(guī)格
- 標(biāo)準刻度：1.0°
- 機械計數(shù)器：0.1°
- 需要微步電機驅(qū)動才能獲得最大分辨率
選項
- 微調(diào)蝸桿傳動
- 微調(diào)數(shù)字讀數(shù)，0.1° 讀數(shù)，機械，不可復(fù)位
- 提供機械計數(shù)器選項
- 帶手動旋鈕的消隙步進電機驅(qū)動每整步 0.018°（RNN-150/MS 為 0.0225°/全步）
- 可在 /FA 裝置上提供定制的泵出管長度和曲軸長度
負載
下面列出了標(biāo)準的最大負載。在特定應(yīng)用下可以處理較大的負載。請咨詢工廠以獲取定制應(yīng)用程序。
- 有效載荷的重心位于裝置極軸的“X”范圍內(nèi)，其中 X 等于 RNN 內(nèi)徑的 10%。
- 有效載荷的重心位于水平安裝裝置上旋轉(zhuǎn)法蘭的“Y”距離內(nèi)，其中 Y 是法蘭內(nèi)徑。
- 真空外部有效載荷的總體最大尺寸“A”為：
垂直操作：7 x 法蘭外徑 水平操作：5 x 法蘭外徑 倒置操作：7 x 法蘭外徑
| 型號 | 垂直 | 水平 | 倒 |
| RNN-150 型 | 54 磅 | 30 磅 | 45 磅 |
| RNN-250 系列 | 90 磅 | 38 磅 | 70 磅 |
| RNN-400 系列 | 144 磅 | 66 磅 | 110 磅 |
| RNN-600 系列 | 180 磅 | 84 磅 | 140 磅 |
| RNN-800型 | 200 磅 | 91 磅 | 160 磅 |
| RNN-1000 系列 | 370 磅 | 160 磅 | 280 磅 |
| RNN-1200型 | 430 磅 | 200 磅 | 350 磅 |
負載位置
表 1.RNN 系列差動泵旋轉(zhuǎn)密封件
（包括可拆卸的調(diào)節(jié)扳手）
| 身份證 | 法蘭 外徑 | 一個 | B | C | D | E | F | G | H | 型號 |
| 1.53 | 2.75 | 4.50 | 2.99 | 1.0 | 3.18 | 2.75 | .49 | .13 | 60° | RNN-150 型 |
| 1.53 | 2.75/61 | 6.00 | 2.99 | 1.34 | 3.33 | 2.75 | .15 | .13 | 45° | RNN-150/6型 |
| 2.53 | 4.5 | 5.75 | 3.64 | 1.36 | 3.58 | 4.50 | .49 | .03 | 45° | RNN-250 系列 |
| 2.53 | 4.5/61 | 6.00 | 3.64 | 1.52 | 3.71 | 4.50 | .33 | .03 | 45° | RNN-250/6 型 |
| 4.03 | 6 | 7.75 | 4.57 | 1.68 | 4.34 | 6.02 | .37 | .06 | 45° | RNN-400 系列 |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 6.16 | 1.74 | 5.70 | 8.00 | .42 | .13 | 54° | RNN-600 系列 |
| 8.00 | 10 | 12.05 | 7.03 | 1.94 | 6.70 | 10.00 | .42 | .13 | 45° | RNN-800型 |
| 10.00 | 13.25 | 15.75 | 8.81 | 2.37 | 8.50 | 13.28 | .29 | .13 | 24° | RNN-1000 系列 |
| 12.00 | 14 | 20.00 | – | 3.34 | – | – | – | – | – | RNN-1200型 |
尺寸（英寸）
1分別表示安裝法蘭尺寸
表 2.RNN/FA 差動泵送旋轉(zhuǎn)密封，帶微調(diào) 1
| 身份證 | 法蘭 外徑 | 一個 | B | C | D | E | F | G | H | 我 | 驅(qū)動 比 | 型號 |
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 3.38 | 1.00 | 4.95 | 2.75 | .49 | 0.37 | 60° | 3 | 80:1 | RNN-150/FA 系列 |
| 1.53 | 2.75/62 | 6.00 | 3.84 | 1.34 | 5.32 | 2.75 | .15 | 0.37 | 45° | 3 | 100:1 | 編號 RNN-150/6/FA |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 4.20 | 1.36 | 6.11 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | RNN-250/FA 系列 |
| 2.53 | 4.5/62 | 6.38 | 4.20 | 1.52 | 6.11 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | 編號 RNN-250/6/FA |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 8.25 | 1.68 | 9.28 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 4 | 100:1 | RNN-400/FA 系列 |
| 6.03 | 8 | 10.25 | 8.50 | 1.74 | 9.93 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 5 | 100:1 | RNN-600/FA 系列 |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 9.56 | 1.94 | 11.50 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 5 | 100:1 | RNN-800/FA 系列 |
| 10.00 | 13.25 | 17.00 | 11.86 | 2.37 | 17.25 | 13.28 | .29 | .91 | 24° | 7 | 100:1 | RNN-1000/FA 系列 |
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200/FA 系列 | |||||||||
尺寸（英寸）
1微調(diào)裝置采用蝸桿傳動，在 RNN-400 和更大型號上具有動態(tài)反沖功能。它們帶有大旋鈕和曲柄手柄。
2分別表示安裝法蘭尺寸
表 3.RNN/MS 或 /MY 差動泵浦旋轉(zhuǎn)密封件，帶抗反沖/MS 步進或 /MY 同步電機驅(qū)動 1
身份證 | 法蘭
外徑 | 一個 | B | C | D | E | F | G | H | 我 | 駕駛
率 | 型
不。 |
| 1.53 | 2.75 | 5.13 | 10.00 | 1.00 | 9.97 | 2.75 | .49 | 0.74 | 60° | 3.39 | 80:1 | RNN-150/MS 或 /MY |
| 1.53 | 2.75/62 | 5.13 | 10.00 | 1.34 | 9.97 | 2.75 | .15 | 0.74 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-150/6/MS 或 /MY |
| 2.53 | 4.5 | 6.38 | 10.10 | 1.36 | 8.30 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250/MS 或 /MY |
| 2.53 | 4.5/62 | 6.38 | 10.10 | 1.52 | 8.30 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250/6/MS 或 /MY |
| 4.03 | 6 | 8.50 | 9.77 | 1.68 | 11.69 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-400/MS 或 /MY |
| 6.03 | 8 | 10.20 | 10.13 | 1.74 | 11.69 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 3.39 | 100:1 | RNN-600/MS 或 /MY |
| 8.00 | 10 | 12.75 | 11.39 | 1.94 | 11.69 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-800/MS 或 /MY |
| 10.00 | 13.25 | 咨詢工廠 | RNN-1000/MS 或 /MY | |||||||||
| 12.00 | 14 | 咨詢工廠 | RNN-1200/MS 或 /MY | |||||||||
| 18.00 | 24 | 咨詢工廠 | RNN-1800/MS 系列 | |||||||||
| 24.00 | 34 | 咨詢工廠 | RNN-2400/MS 系列 | |||||||||
尺寸（英寸）
1電機驅(qū)動單元采用蝸桿驅(qū)動，并且都是動態(tài)消隙，電機后部帶有手動旋鈕
2分別表示安裝法蘭尺寸
