特征

• 3 kW（最大-5 kV）電子槍電源
• 完全屏蔽的發(fā)射極
• 兼容高真空（HV）和超高真空（UHV）
• 低放氣
• 適用于薄膜和其他高精度沉積應(yīng)用的高純度蒸發(fā)。
• 無(wú)光束掃描，專(zhuān)為金屬材料設(shè)計(jì)
• 信號(hào)源百葉窗（氣動(dòng)或手動(dòng)）和高壓饋通
• 直接更換K單元端口法蘭
• 坩堝觀(guān)看通道
• 緊湊型氣源可轉(zhuǎn)變?yōu)榘袅蠚庠?/li>

技術(shù)數(shù)據(jù)

• 安裝法蘭：4.5“ OD CF法蘭或6” OD CF法蘭
• 坩堝容量：2.24 cc或4 cc
• 燈絲類(lèi)型：W線(xiàn)
• 最高烘烤溫度：230°C（446°F）
• 工作壓力：低于5 x 10-5托是最佳操作的理想選擇
• 電子束偏轉(zhuǎn)：270°
• 高壓：-5 kV
• 光束電壓：4,000 VDC
• 束電流：0-750 mA連續(xù)可變
• H2O要求：一（1）gpm（最小值）@ 16°C（60°F）
• 壓差：最小25 psi。