衍射光柵
衍射光柵是一種光學(xué)元件,可將入射能量衍射成其組成波長。光柵的刻線密度、深度和輪廓決定了其光譜范圍、效率、分辨率和整體性能。
衍射光柵通常分為兩類:刻劃光柵和全息光柵??虅澒鈻磐ㄟ^刻劃機在光柵基底(通常為鍍有反射層的玻璃)上用金剛石刀具刻制溝槽而成;而全息光柵則采用光刻技術(shù)制作,其溝槽輪廓可呈正弦或閃耀狀。
正弦光柵是全息光柵中最常見的類型,其溝槽對稱分布,因此無特定閃耀方向。與閃耀光柵相比,正弦光柵的光譜覆蓋范圍更廣,但效率通常較低。
閃耀全息光柵的正弦輪廓經(jīng)特殊處理轉(zhuǎn)變?yōu)椤颁忼X”狀。這種鋸齒結(jié)構(gòu)可在目標波長范圍內(nèi)顯著提升衍射效率,同時不增加雜散光。光譜科學(xué)公司采用專利閃耀技術(shù),所制造的閃耀光柵在效率相當甚至更優(yōu)的情況下,雜散光水平遠低于離子蝕刻光柵。目前該技術(shù)適用于200-300mm的閃耀區(qū)域。
除平面光柵外,光譜科學(xué)還是少數(shù)能設(shè)計并制造UV-可見光波段優(yōu)化的消像差平場成像閃耀光柵的企業(yè)之一。
衍射光柵類型
衍射光柵是一種將入射能量按組成波長進行衍射的光學(xué)元件。其溝槽密度、深度和輪廓決定了光柵的光譜范圍、效率、分辨率及整體性能。
主要分類
衍射光柵通常分為兩大類:
刻劃光柵:通過刻劃機使用金剛石刀具在光柵基底(通常為鍍有反射層的玻璃)上直接刻制溝槽而成
全息光柵:采用干涉光刻技術(shù)制作,具有更光滑的溝槽表面,可消除刻劃光柵固有的周期性誤差
工作方式
按工作模式可分為:
反射式光柵:通常鍍有反射膜層(紫外-可見-近紅外波段采用加保護層的鋁膜,紅外波段采用金膜)
透射式光柵:通常配備抗反射涂層
常見形制
雖然根據(jù)應(yīng)用需求也可制成凸面或環(huán)形等特殊輪廓,但最常見的衍射光柵形制為:
平面光柵
凹面光柵
溝槽輪廓
衍射光柵的溝槽輪廓主要分為兩種:
正弦型:效率通常較低,但光譜覆蓋范圍較廣
閃耀型:具有”鋸齒狀”輪廓,衍射效率更高
衍射光柵產(chǎn)品系列
全息光柵
正弦型全息光柵
對稱溝槽結(jié)構(gòu)
寬光譜覆蓋特性
適用于光譜分析基礎(chǔ)應(yīng)用
閃耀型全息光柵
鋸齒狀溝槽輪廓
高衍射效率設(shè)計
200-300mm閃耀區(qū)專利技術(shù)
凹面光柵系列
標準凹面光柵
傳統(tǒng)羅蘭圓結(jié)構(gòu)
光譜成像基礎(chǔ)配置
閃耀型全息凹面光柵
結(jié)合凹面聚焦與閃耀特性
增強特定波段光通量
像差校正(平場成像)凹面光柵
專利像差校正技術(shù)
優(yōu)化UV-VIS波段成像質(zhì)量
適用于光譜成像系統(tǒng)
羅蘭型凹面光柵
經(jīng)典羅蘭圓構(gòu)型
保持波長線性分布特性
特殊應(yīng)用光柵
恒偏向單色器光柵
固定出射角設(shè)計
簡化光譜儀光路結(jié)構(gòu)
脈沖壓縮光柵
超短脈沖激光專用
高損傷閾值設(shè)計
啁啾脈沖放大系統(tǒng)核心元件
透射式光柵
抗反射涂層處理
直讀式光譜檢測方案
緊湊型光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)選