Special Optics 高分辨率（小光斑尺寸）F-Theta Scan 鏡頭可實(shí)現(xiàn)超精細(xì)分辨率激光切割和蝕刻。我們的標(biāo)準(zhǔn)和定制激光掃描鏡頭專(zhuān)為全球最苛刻的激光微加工客戶而開(kāi)發(fā)。根據(jù)我們的客戶，我們通常提供光學(xué)行業(yè)中最高的分辨率、最小的光斑尺寸、最嚴(yán)格的公差和鏡頭耐用性。

我們的 F-Theta Scan 鏡頭非常適合與我們的大型輸出擴(kuò)束鏡結(jié)合使用，用于各種激光加工和激光微加工任務(wù)，例如太陽(yáng)能電池切割、激光打標(biāo)、激光鉆孔和激光劃線。

特征：

• 像平面上的平場(chǎng)
• 衍射極限性能
• 高損傷閾值的空氣間隔設(shè)計(jì)
• 所有表面的增透膜
• 從紫外到可見(jiàn)光和紅外區(qū)域的設(shè)計(jì)

應(yīng)用：

• 太陽(yáng)能電池的激光切割
• 金屬和陶瓷板 （PCB） 的激光鉆孔各種材料（汽車(chē)零件、IC、智能卡）的激光打標(biāo)
• 陶瓷基板的激光劃線 用于生物技術(shù)的共聚焦掃描光束激光顯微鏡

遠(yuǎn)心紫外激光掃描鏡頭

特殊光學(xué)遠(yuǎn)心 F-Theta 紫外掃描鏡頭在標(biāo)記激光材料加工的物體時(shí)提供更大的景深和更小的光斑尺寸。遠(yuǎn)心掃描鏡頭，就其設(shè)計(jì)本身而言，保持光束到工件的接近正常入射角。這可確保在整個(gè)掃描范圍內(nèi)將位置誤差和圖像失真降至最低。使用較短的波長(zhǎng)，可以實(shí)現(xiàn)更小的光斑尺寸。

具有更大的景深和更小的光斑尺寸對(duì)于精密激光微加工工藝非常重要，因?yàn)樵谶@種工藝中，需要產(chǎn)生精細(xì)的光斑尺寸，以便控制激光標(biāo)記、劃線或鉆孔的寬度，同時(shí)在相對(duì)較大的區(qū)域上保持精確放置。實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)的能力有時(shí)會(huì)受到晶片或太陽(yáng)能電池板的最小翹曲的影響。

• 焦距為 34 毫米、50 毫米和 100 毫米，可用于 266nm 或 355nm 波長(zhǎng)
• 掃描區(qū)域范圍為 9 毫米、20 毫米、45 毫米和 55 毫米
• 專(zhuān)為適應(yīng) 17 mm 至 10 mm 的大輸入光束直徑而開(kāi)發(fā)
• 實(shí)現(xiàn)的光斑尺寸分別為 1.0 微米、2.5 微米和 5 微米
• 衍射極限和遠(yuǎn)心度偏差小于 0.9%

特征

• 衍射極限設(shè)計(jì)
• 精密制造和組裝
• 空氣間隔設(shè)計(jì)
• 提供消色差設(shè)計(jì)

VIS-NIR 激光掃描鏡頭

Special Optics 高精度 F-Theta 掃描鏡頭（450nm 至 1064nm）可實(shí)現(xiàn)超精細(xì)分辨率激光切割和蝕刻，并用于最苛刻的激光微加工應(yīng)用。特殊光學(xué) F-Theta 掃描透鏡與我們的大型輸出擴(kuò)束鏡完美結(jié)合，用于各種激光加工和激光微加工任務(wù)，例如太陽(yáng)能電池切割、激光打標(biāo)、激光鉆孔和激光劃線。除了列出的鏡頭外，Special Optics 還定期為各種 OEM 應(yīng)用和性能水平設(shè)計(jì)定制激光光學(xué)系統(tǒng)。

特征

• 在圖像平面上提供平場(chǎng)
• 衍射極限性能
• 高損傷閾值的空氣間隔設(shè)計(jì)
• 所有表面的增透膜
• 從可見(jiàn)光到紅外區(qū)域的設(shè)計(jì)
• 提供消色差設(shè)計(jì)