SENS4真空傳感器、真空計(jì)和控制器|VPM-7 SmartPirani™?ATM傳感器、專(zhuān)為半導(dǎo)體負(fù)載鎖定、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用
真空測(cè)量產(chǎn)品
為您的應(yīng)用找到理想的真空傳感器
無(wú)論您是需要用于工業(yè)流程、研究實(shí)驗(yàn)室還是專(zhuān)業(yè)高科技應(yīng)用的高精度真空傳感器，我們的選擇工具都可以幫助您通過(guò)真空傳感器類(lèi)型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。
從全系列的數(shù)字真空計(jì)、真空傳感器和真空控制器中進(jìn)行選擇，根據(jù)您的確切規(guī)格（包括連接類(lèi)型、輸出信號(hào)和精度要求）進(jìn)行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測(cè)量解決方案，專(zhuān)為在苛刻的環(huán)境中運(yùn)行而設(shè)計(jì)
VPM-7 SmartPirani™ ATM傳感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM?傳感器專(zhuān)為半導(dǎo)體負(fù)載鎖定、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)，在這些應(yīng)用中，相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測(cè)量非常重要。
與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定傳感器和其他負(fù)載鎖定傳感器解決方案相比，它提供一流的性能，具有更寬的測(cè)量范圍、更高的精度、更快的測(cè)量周期。
SmartPirani™?ATM 通過(guò)將熱導(dǎo)率皮拉尼熱損失真空計(jì)的可用測(cè)量范圍延長(zhǎng)了 1-3 個(gè)數(shù)量級(jí)，確立了新標(biāo)準(zhǔn)。
多合一多傳感器傳感器解決方案
VPM-7 是一款真正的多傳感器傳感器，具有四個(gè)壓力輸出：一個(gè)氣壓環(huán)境傳感器、一個(gè)寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、一個(gè)絕對(duì)式隔膜傳感器和一個(gè)相對(duì)于大氣壓的信號(hào)，所有這些傳感器共同作用，以優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖定真空室中的精確壓力控制。隔膜傳感器提供 2 至 1333 mbar（1.5 至 1000 Torr）的精確氣體獨(dú)立絕對(duì)讀數(shù)。
Load-lock 是一種真空室，用于將器件（如半導(dǎo)體晶片）從環(huán)境氣壓加載到真空加工室中。負(fù)載鎖定通常在大氣壓和將晶圓轉(zhuǎn)移到處理室所需的適當(dāng)真空度之間循環(huán)。負(fù)載鎖內(nèi)的精確壓力控制對(duì)于防止環(huán)境空氣和顆粒物的污染、保護(hù)腔室和晶圓至關(guān)重要。
測(cè)量和控制負(fù)載鎖定過(guò)程
VPM-7 SmartPirani™ ATM 專(zhuān)為一流的真空氣體壓力測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)。多個(gè)輸出選項(xiàng)提供的不僅僅是壓力測(cè)量信號(hào)。
可靠的設(shè)定點(diǎn)繼電器控制
三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開(kāi)關(guān)繼電器允許對(duì)負(fù)載鎖定壓力循環(huán)進(jìn)行外部控制，包括泵、閥門(mén)、安全聯(lián)鎖電路、PLC 和其他設(shè)備。
與機(jī)電繼電器不同，固態(tài)繼電器具有更高的可靠性和更快的開(kāi)關(guān)時(shí)間，具有無(wú)電弧觸點(diǎn)，并且在開(kāi)關(guān)過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生 EMI（電磁干擾）。
SmartPirani™ ATM 繼電器經(jīng)久耐用，經(jīng)過(guò) UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)可和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，確保在關(guān)鍵真空過(guò)程和高循環(huán)應(yīng)用中提供可靠的性能。
模擬輸出
模擬輸出電壓為外部監(jiān)控或控制提供信號(hào)。VPM-7 為 mbar、Torr 或 Pascal 提供每十倍頻程 1 VDC 的標(biāo)準(zhǔn)電壓輸出。
此外，它可以由用戶配置或預(yù)配置各種其他模擬輸出選項(xiàng)，從而可以無(wú)縫替換其他制造商的儀表。
數(shù)字接口
RS-232 和 RS-485 串行接口有助于將壓力和溫度測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。
該數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放以及真空壓力測(cè)量值的實(shí)時(shí)采集，以實(shí)現(xiàn)屏幕可視化。
其他供應(yīng)商即用兼容性?
VPM-7 SmartPirani™ ATM 傳感器可作為傳統(tǒng)負(fù)載鎖定真空傳感器的直接替代品。
引腳兼容性、模擬電壓、壓力信號(hào)仿真以及與其他供應(yīng)商的真空傳感器和變送器的數(shù)字協(xié)議仿真。
這些仿真功能支持對(duì)傳統(tǒng)皮拉尼線傳感器、對(duì)流計(jì)和傳統(tǒng)微型皮拉尼傳感器進(jìn)行快速、無(wú)縫升級(jí)，無(wú)需更改布線和系統(tǒng)設(shè)備軟件即可過(guò)渡到下一代真空傳感器。
VPM-7 SmartPirani™ ATM 在取代傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定真空計(jì)和傳感器時(shí)，可在許多應(yīng)用中降低成本并增強(qiáng)測(cè)量性能。
自定義設(shè)置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 傳感器可以定制以滿足特定的應(yīng)用要求，使其能夠立即在特定的設(shè)備設(shè)置中使用。預(yù)配置選項(xiàng)包括測(cè)量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點(diǎn)配置和輸出信號(hào)縮放。
定制單元被分配一個(gè)唯一的零件編號(hào)，以便將來(lái)輕松重新訂購(gòu)。
應(yīng)用和市場(chǎng)
VPM-7 SmartPirani™ ATM 專(zhuān)為高級(jí)真空過(guò)程的可靠測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，適用于負(fù)載鎖定系統(tǒng)的壓力控制。VPM-7 配置有多種選擇，可滿足各種行業(yè)和應(yīng)用的不同要求。
