SENS4真空傳感器、真空計(jì)和控制器|VPM-5 Smart皮拉尼™傳感器、將熱導(dǎo)式真空計(jì)的可用真空測(cè)量范圍延長(zhǎng) 1-3 個(gè)數(shù)量級(jí)，從而建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)
真空測(cè)量產(chǎn)品
為您的應(yīng)用找到理想的真空傳感器
無論您是需要用于工業(yè)流程、研究實(shí)驗(yàn)室還是專業(yè)高科技應(yīng)用的高精度真空傳感器，我們的選擇工具都可以幫助您通過真空傳感器類型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。
從全系列的數(shù)字真空計(jì)、真空傳感器和真空控制器中進(jìn)行選擇，根據(jù)您的確切規(guī)格（包括連接類型、輸出信號(hào)和精度要求）進(jìn)行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測(cè)量解決方案，專為在苛刻的環(huán)境中運(yùn)行而設(shè)計(jì)
VPM-5 Smart皮拉尼™傳感器
- 1E-6 至 1333 mbar 寬測(cè)量范圍
- 2 至 1333 mbar 的氣體獨(dú)立型
- 可選耐腐蝕傳感器
- 數(shù)字、模擬和設(shè)定點(diǎn)控制功能
VPM-5 SmartPirani™?真空傳感器基于尖端技術(shù)，可提供一流的性能，并將熱導(dǎo)式真空計(jì)的可用真空測(cè)量范圍延長(zhǎng) 1-3 個(gè)數(shù)量級(jí)，從而建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。
SmartPirani™ 基于尖端的?MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和先進(jìn)的創(chuàng)新測(cè)量算法。這些元件與精密的自動(dòng)化制造和校準(zhǔn)過程相結(jié)合，打造出一款獨(dú)特的產(chǎn)品，能夠?qū)崿F(xiàn)不折不扣的測(cè)量性能。
領(lǐng)先的真空測(cè)量技術(shù)
VPM-5 SmartPirani™ 傳感器具有卓越的性能，通過將熱導(dǎo)率真空計(jì)的可用測(cè)量范圍擴(kuò)大了 1 到 3 個(gè)數(shù)量級(jí)，為真空測(cè)量樹立了新的標(biāo)桿。
通過集成 MEMS 隔膜傳感器，消除了熱導(dǎo)率計(jì)粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性，該傳感器的精度性能可與更昂貴的電容壓力計(jì)相媲美。測(cè)量與氣體類型和濃度無關(guān)，增強(qiáng)了測(cè)量的信心，并確保更準(zhǔn)確地控制真空系統(tǒng)的排氣過程，這有助于防止真空系統(tǒng)過壓。
針對(duì)具有挑戰(zhàn)性的工業(yè)應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化
對(duì)于傳感器可能暴露于腐蝕性或腐蝕性氣體中的應(yīng)用，SmartPirani™ 可提供保形保護(hù)涂層，作為有效的屏障。
SmartPirani™ 傳感器系列現(xiàn)在提供可選的陶瓷或聚對(duì)二甲苯保護(hù)屏障，防止傳感器材料腐蝕或氧化。陶瓷具有高度耐腐蝕性，是電容式隔膜真空計(jì)中真空傳感器隔膜的成熟材料。聚對(duì)二甲苯是一種獨(dú)特的聚合物，具有高度的耐腐蝕性和疏水性。聚對(duì)二甲苯阻隔層專為醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)，包括凍干和滅菌。
在某些真空過程中，顆粒會(huì)損壞真空計(jì)。對(duì)于這些應(yīng)用，SmartPirani™ 傳感器配有保護(hù)擋板，作為對(duì)宏觀顆粒的屏障。結(jié)合保護(hù)涂層選項(xiàng)，新型 SmartPirani™ 傳感器專為惡劣的真空環(huán)境而設(shè)計(jì)。
測(cè)量和控制高級(jí)真空過程
VPM-5 SmartPirani™ 專為一流的真空氣體壓力測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)。多個(gè)輸出選項(xiàng)提供的不僅僅是壓力測(cè)量信號(hào)。
用于工業(yè)控制系統(tǒng)的靈活模擬輸出
模擬輸出電壓為外部讀數(shù)或控制提供信號(hào)。VPM-5 標(biāo)配 1VDC/十倍頻程 mbar、Torr 或 Pascal 的電壓輸出信號(hào)。
此外，它還可以由用戶配置或訂購(gòu)，預(yù)配置大量其他模擬輸出選項(xiàng)，從而可以直接更換其他供應(yīng)商的儀表。
啟用與外部設(shè)備的數(shù)字連接
RS-232 和 RS-485 串行接口可用于將壓力和溫度測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。
數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、服務(wù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)配置、模擬輸出縮放以及實(shí)時(shí)真空壓力測(cè)量的采集，以實(shí)現(xiàn)屏幕可視化。
具有可配置設(shè)定點(diǎn)的可靠繼電器控制
三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器可用于泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路和其他外部設(shè)備的外部控制。
與機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關(guān)時(shí)間，同時(shí)提供無電弧觸點(diǎn)，并且在開關(guān)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生 EMI（電磁干擾）。
SmartPirani™ 繼電器經(jīng)久耐用，經(jīng)過 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用時(shí)具有最大的信心。
跨供應(yīng)商兼容性，實(shí)現(xiàn)靈活集成?
VPM-5 SmartPirani™ 傳感器可與其他供應(yīng)商的真空傳感器和變送器配合使用，具有引腳兼容性、模擬電壓、壓力信號(hào)仿真和數(shù)字協(xié)議仿真功能。
這些仿真功能支持對(duì)傳統(tǒng)皮拉尼線傳感器、對(duì)流計(jì)和傳統(tǒng)微型皮拉尼傳感器進(jìn)行快速、無縫升級(jí)，無需更改布線和系統(tǒng)設(shè)備軟件即可過渡到下一代真空傳感器。
VPM-5 SmartPirani™ 在取代傳統(tǒng)真空計(jì)和傳感器時(shí)，可在許多應(yīng)用中降低成本并增強(qiáng)測(cè)量性能。
其他供應(yīng)商的仿真還提供與其他供應(yīng)商的控制器和顯示單元的兼容性。
通過電源電壓線連接數(shù)字
傳統(tǒng)上，其他供應(yīng)商配備 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 連接器的傳感器不提供數(shù)字通信。新穎的 S4-Connect 接口可通過電源線上的數(shù)字通信訪問 VPM-5 傳感器的數(shù)字核心。
S4-Connect USB 通訊器可輕松配置傳感器設(shè)置、診斷和校準(zhǔn)調(diào)整。
可定制的參數(shù)以滿足應(yīng)用程序需求
VPM-5 傳感器可以定制配置，以滿足特定的應(yīng)用要求，并開箱即用地適用于特定的設(shè)備安裝。預(yù)配置選項(xiàng)的示例包括測(cè)量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點(diǎn)配置和輸出信號(hào)縮放。
定制產(chǎn)品將被分配一個(gè)唯一的零件編號(hào)，以便將來輕松直接地重新訂購(gòu)。
PVD 涂層
VPM-5 具有可維修的擋板保護(hù)，可在物理氣相沉積 （PVD） 涂層應(yīng)用中使用并延長(zhǎng)使用壽命。
爐
在真空熱處理過程中測(cè)量和控制真空?？蛇x的擋板和涂層保護(hù)可用于工業(yè)應(yīng)用。
空間模擬
在模擬太空的惡劣環(huán)境時(shí)測(cè)量真空氣體壓力。
氫氣供應(yīng)
氫氣儲(chǔ)罐和供應(yīng)管線中絕緣真空的測(cè)量和監(jiān)測(cè)。
半導(dǎo)體
半導(dǎo)體應(yīng)用中的 CVD、PVD 和前級(jí)真空測(cè)量。提供陶瓷耐腐蝕傳感器。
質(zhì)譜儀
充分利用 VPM-5 在質(zhì)譜儀儀器中提供的低壓測(cè)量功能。
行業(yè)應(yīng)用和市場(chǎng)焦點(diǎn)
VPM-5 SmartPirani™ 專為對(duì)高級(jí)真空過程進(jìn)行可靠測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)，適用于工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。VPM-5 配置有多種選擇，可滿足各種應(yīng)用的不同要求。
