SENS4真空傳感器、真空計和控制器|VDM-7 DiCAP™ VPM-7 SmartPirani™ ATM?傳感器專為半導(dǎo)體負載鎖定、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用
真空測量產(chǎn)品
為您的應(yīng)用找到理想的真空傳感器
無論您是需要用于工業(yè)流程、研究實驗室還是專業(yè)高科技應(yīng)用的高精度真空傳感器，我們的選擇工具都可以幫助您通過真空傳感器類型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。
從全系列的數(shù)字真空計、真空傳感器和真空控制器中進行選擇，根據(jù)您的確切規(guī)格（包括連接類型、輸出信號和精度要求）進行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測量解決方案，專為在苛刻的環(huán)境中運行而設(shè)計
VDM-7 DiCAP™ VPM-7 SmartPirani™ ATM?傳感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM?傳感器專為半導(dǎo)體負載鎖定、精密壓力控制和其他真空應(yīng)用而設(shè)計，在這些應(yīng)用中，相對于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測量非常重要。
與傳統(tǒng)的負載鎖定傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案相比，它具有一流的性能，具有更寬的測量范圍、更高的精度、更快的測量周期。
SmartPirani™?ATM 通過將熱導(dǎo)率皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍延長了 1-3 個數(shù)量級，確立了新標準。
多合一多傳感器傳感器解決方案
VPM-7 是一款真正的多傳感器傳感器，具有四個壓力輸出：一個氣壓環(huán)境傳感器、一個寬范圍熱損失皮拉尼傳感器、一個絕對式隔膜傳感器和一個相對于大氣壓的信號，所有這些傳感器共同作用，以優(yōu)化現(xiàn)代負載鎖定真空室中的精確壓力控制。隔膜傳感器提供 2 至 1333 mbar（1.5 至 1000 Torr）的精確絕壓讀數(shù)。
Load-lock 是一種真空室，用于將器件（如半導(dǎo)體晶片）從環(huán)境氣壓加載到真空加工室中。負載鎖定通常在大氣壓和將晶圓轉(zhuǎn)移到處理室所需的適當(dāng)真空度之間循環(huán)。負載鎖內(nèi)的精確壓力控制對于防止環(huán)境空氣和顆粒物的污染、保護腔室和晶圓至關(guān)重要。
測量和控制負載鎖定過程
VPM-7 SmartPirani™ ATM 專為一流的真空氣體壓力測量和控制而設(shè)計。多個輸出選項提供的不僅僅是壓力測量信號。
可靠的設(shè)定點繼電器控制
三個獨立的固態(tài)開關(guān)繼電器允許對負載鎖定壓力循環(huán)進行外部控制，包括泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路、PLC 和其他設(shè)備。
與機電繼電器不同，固態(tài)繼電器具有更高的可靠性和更快的開關(guān)時間，具有無電弧觸點，并且在開關(guān)過程中不會產(chǎn)生 EMI（電磁干擾）。
SmartPirani™ ATM 繼電器經(jīng)久耐用，經(jīng)過 UL 認證、CSA 認可和 EN/IEC 60950-1 認證，確保在關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用中提供可靠的性能。
模擬輸出
模擬輸出電壓為外部監(jiān)控或控制提供信號。VPM-7 為 mbar、Torr 或 Pascal 提供每十倍頻程 1 VDC 的標準電壓輸出。
此外，它可以由用戶配置或預(yù)配置各種其他模擬輸出選項，從而可以無縫替換其他制造商的儀表。
數(shù)字接口
RS-232 和 RS-485 串行接口有助于將壓力和溫度測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。
該數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測性維護、維修、校準、設(shè)定點配置、模擬輸出縮放以及真空壓力測量值的實時采集，以實現(xiàn)屏幕可視化。
其他供應(yīng)商即用兼容性?
VPM-7 SmartPirani™ ATM 傳感器可作為傳統(tǒng)負載鎖定真空傳感器的直接替代品。
引腳兼容性、模擬電壓、壓力信號仿真以及與其他供應(yīng)商的真空傳感器和變送器的數(shù)字協(xié)議仿真。
這些仿真功能支持對傳統(tǒng)皮拉尼金屬絲傳感器、對流計和傳統(tǒng)微型皮拉尼傳感器進行快速、無縫升級，無需更換布線和系統(tǒng)設(shè)備軟件即可過渡到下一代真空傳感器。
VPM-7 SmartPirani™ ATM 在取代傳統(tǒng)的負載鎖定真空計和傳感器時，可在許多應(yīng)用中降低成本并增強測量性能。
自定義設(shè)置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 傳感器可以定制以滿足特定的應(yīng)用要求，使其能夠立即在特定的設(shè)備設(shè)置中使用。預(yù)配置選項包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點配置和輸出信號縮放。
定制單元被分配一個唯一的零件編號，以便將來輕松重新訂購。
應(yīng)用和市場
VPM-7 SmartPirani™ ATM 專為高級真空過程的可靠測量和控制而設(shè)計，適用于負載鎖定系統(tǒng)的壓力控制。VPM-7 配置有多種選擇，可滿足各種行業(yè)和應(yīng)用的不同要求。
