SENS4真空傳感器、真空計(jì)和控制器|VDM-2 陶瓷隔膜、使用堅(jiān)固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量

SENS4真空傳感器、真空計(jì)控制器|VDM-2 陶瓷隔膜、使用堅(jiān)固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量

真空測量產(chǎn)品

為您的應(yīng)用找到理想的真空傳感器

無論您是需要用于工業(yè)流程、研究實(shí)驗(yàn)室還是專業(yè)高科技應(yīng)用的高精度真空傳感器,我們的選擇工具都可以幫助您通過真空傳感器類型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。

從全系列的數(shù)字真空計(jì)、真空傳感器和真空控制器中進(jìn)行選擇,根據(jù)您的確切規(guī)格(包括連接類型、輸出信號和精度要求)進(jìn)行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測量解決方案,專為在苛刻的環(huán)境中運(yùn)行而設(shè)計(jì)

VDM-2 陶瓷隔膜

VDM-2 陶瓷隔膜真空傳感器使用堅(jiān)固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量,該隔膜與施加的壓力成比例彎曲。壓阻式傳感器元件的核心是確保在各種真空應(yīng)用中進(jìn)行準(zhǔn)確穩(wěn)定的測量。

與依賴充油傳感器元件的傳統(tǒng)不銹鋼隔膜壓電真空傳感器不同,VDM-2 采用清潔、干燥的陶瓷壓電隔膜傳感器,完全消除了敏感真空系統(tǒng)中油污染的風(fēng)險(xiǎn)。

VDM-2 專為多功能性而設(shè)計(jì),可測量氣體壓力,不受氣體類型或成分的影響,使其成為半導(dǎo)體加工、分析儀器、工業(yè)真空系統(tǒng)等應(yīng)用的理想解決方案。

電容式隔膜真空計(jì)的替代品

電容式隔膜真空計(jì)用于許多真空應(yīng)用中,用于高級過程的測量和控制。VDM-2 傳感器是傳統(tǒng) 1000 Torr/mbar 滿量程電容膜片真空計(jì) (CDG) 的一種經(jīng)濟(jì)高效且緊湊的替代品。

VDM-2 使用陶瓷隔膜的測量范圍

專為惡劣的真空環(huán)境而設(shè)計(jì)

VDM-2 真空傳感器專為存在腐蝕性氣體、腐蝕性化學(xué)品或惡劣工藝條件的苛刻真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。其陶瓷氧化鋁隔膜對各種溶劑、酸和反應(yīng)性化合物具有出色的耐腐蝕性,確保在具有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中具有長期可靠性。

為了獲得更好的保護(hù),VDM-2 可選配聚對二甲苯涂層——一種高度耐腐蝕和疏水性的聚合物屏障。聚對二甲苯廣泛用于醫(yī)療應(yīng)用,包括過氧化氫等離子體滅菌凍干,在這些應(yīng)用中,耐用性和抗污染性至關(guān)重要。

在易受顆粒污染的真空過程中,可選的保護(hù)擋板可防止顆粒沉積在傳感器隔膜上,從而保證測量精度和傳感器使用壽命。

氧化鋁傳感器元件專為彈性而設(shè)計(jì),可承受高達(dá) 2 bar 絕對壓力 (29 psia) 的突然通風(fēng)和超壓條件,使其成為工業(yè)、制藥和半導(dǎo)體環(huán)境中高應(yīng)力真空系統(tǒng)的理想選擇。

VDM-2 帶擋板的傳感器,適用于惡劣環(huán)境
VDM-2 帶保護(hù)擋板的陶瓷膜片傳感器

靈活的模擬電壓輸出,用于壓力讀數(shù)和控制

VDM-2 真空傳感器具有高分辨率模擬電壓輸出,可直接連接到外部顯示器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、PLC 或過程控制設(shè)備,以進(jìn)行實(shí)時(shí)真空壓力監(jiān)測。

VDM-2 與各種系統(tǒng)兼容,提供多個(gè)預(yù)配置的模擬輸出曲線,允許無縫替換不同制造商的真空計(jì),從而最大限度地減少設(shè)置時(shí)間和集成工作量。

對于定制應(yīng)用,模擬輸出也可以由用戶配置任意線性縮放,從而提供最大的靈活性來匹配特定的系統(tǒng)要求或控制策略。

 

VDM-2 模擬電壓輸出

RS-232 和 RS-485 的數(shù)字接口,可實(shí)現(xiàn)可靠的真空數(shù)據(jù)傳輸

VDM-2 真空傳感器具有集成的?RS-232 和 RS-485 數(shù)字接口,可確保在長距離電纜上可靠、無噪聲地傳輸真空測量數(shù)據(jù),而不會(huì)造成信號衰減或受到電噪聲的干擾。

該數(shù)字通信接口支持高級功能,如實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測、診斷、預(yù)測性維護(hù)、校準(zhǔn)、服務(wù)狀態(tài)、設(shè)定點(diǎn)配置和模擬輸出縮放。這些功能可以增強(qiáng)系統(tǒng)控制并簡化與現(xiàn)代真空系統(tǒng)的集成。

即使模擬輸出配置為有限范圍(例如,100 Torr 滿量程),數(shù)字輸出仍可繼續(xù)提供高達(dá)?1333 mbar (1000 Torr) 的準(zhǔn)確全范圍真空壓力讀數(shù),為監(jiān)測和控制提供最大的靈活性。

 

將數(shù)字式真空傳感器連接到 VDM-2 真空傳感器

用于高級真空系統(tǒng)控制可靠固態(tài)繼電器

VDM-2 真空傳感器配有三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器,用于直接控制真空泵、閥門和安全聯(lián)鎖電路等外部設(shè)備。這些集成輸出可在要求苛刻的真空控制應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)無縫自動(dòng)化和實(shí)時(shí)系統(tǒng)響應(yīng)。

與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比,固態(tài)繼電器提供更快的開關(guān)速度、更高的可靠性和無電弧運(yùn)行,同時(shí)消除開關(guān)過程中的電磁干擾 (EMI),非常適合精密和噪聲敏感環(huán)境。

VDM-2 的繼電器經(jīng)久耐用,經(jīng)過 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證,并通過了?EN/IEC 60950-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,確保在關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)工業(yè)應(yīng)用中的長期性能和安全性。

 

VDM-2 設(shè)定值控制
VDM-2 陶瓷隔膜真空計(jì),可實(shí)現(xiàn)其他供應(yīng)商的直接兼容性

與其他供應(yīng)商的真空計(jì)兼容 – 直接替換真空傳感器

Sens4 的直接替換真空傳感器經(jīng)過精心設(shè)計(jì),可與其他供應(yīng)商的真空計(jì)完全兼容,具有連接器引腳兼容性,無需重新布線即可無縫安裝。

這些高性能傳感器模擬了領(lǐng)先制造商的等效真空計(jì)型號的模擬輸出縮放和測量范圍,確保整個(gè)系統(tǒng)的性能準(zhǔn)確一致。

此外,Sens4 真空傳感器支持?jǐn)?shù)字協(xié)議仿真,無需更改通信軟件即可與現(xiàn)有真空控制器、電源和顯示裝置實(shí)現(xiàn)即插即用集成。這使它們成為需要互作性的真空系統(tǒng)升級、更換和 OEM 集成的理想選擇。

 

定制的真空傳感器設(shè)置 – 為您的應(yīng)用量身定制

VDM-2 真空傳感器可在工廠進(jìn)行配置,以滿足您的特定應(yīng)用要求,確保最佳性能和開箱即用的無縫集成。自定義配置選項(xiàng)包括:

  • 測量范圍
  • 真空壓力單位(例如 mbar、Torr、Pa)
  • 設(shè)定點(diǎn)配置
  • 輸出信號縮放

這些預(yù)配置的傳感器非常適合尋求即插即用安裝且設(shè)置時(shí)間最短的 OEM 和系統(tǒng)集成商。

每個(gè)定制的 VDM-2 裝置都分配有一個(gè)唯一的零件編號,從而簡化了未來的重新訂購并確保了整個(gè)真空系統(tǒng)的一致性。

應(yīng)用和市場

VDM-2 陶瓷隔膜真空傳感器專為在苛刻的工業(yè)和科學(xué)環(huán)境中進(jìn)行高精度真空測量和控制而設(shè)計(jì)。它專為長期穩(wěn)定性和可靠性而設(shè)計(jì),支持多個(gè)領(lǐng)域的廣泛真空應(yīng)用。

典型應(yīng)用包括:

  • 半導(dǎo)體制造
  • 實(shí)驗(yàn)室研究和儀器
  • 工業(yè)真空系統(tǒng)
  • 分析和工藝設(shè)備
  • 泄漏檢測和質(zhì)量控制

為了滿足不同的性能和集成需求,我們還提供了廣泛的?VDM-2 真空傳感器配置,從而可以輕松找到適合您特定過程要求的解決方案


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