SENS4真空傳感器、真空計和控制器|VPM-5 Smart皮拉尼™傳感器、將熱導(dǎo)式真空計的可用真空測量范圍延長 1-3 個數(shù)量級,從而建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)

SENS4真空傳感器、真空計控制器|VPM-5 Smart皮拉尼™傳感器、將熱導(dǎo)式真空計可用真空測量范圍延長 1-3 個數(shù)量級,從而建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)

真空測量產(chǎn)品

為您的應(yīng)用找到理想的真空傳感器

無論您是需要用于工業(yè)流程、研究實驗室還是專業(yè)高科技應(yīng)用的高精度真空傳感器,我們的選擇工具都可以幫助您通過真空傳感器類型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。

從全系列的數(shù)字真空計、真空傳感器和真空控制器中進行選擇,根據(jù)您的確切規(guī)格(包括連接類型、輸出信號和精度要求)進行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測量解決方案,專為在苛刻的環(huán)境中運行而設(shè)計

VPM-5 Smart皮拉尼™傳感器

  • 1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍
  • 2 至 1333 mbar 的氣體獨立型
  • 可選耐腐蝕傳感器
  • 數(shù)字、模擬和設(shè)定點控制功能

VPM-5 SmartPirani™?真空傳感器基于尖端技術(shù),可提供一流的性能,并將熱導(dǎo)式真空計的可用真空測量范圍延長 1-3 個數(shù)量級,從而建立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。

SmartPirani™ 基于尖端的?MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術(shù),結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號處理架構(gòu)和先進的創(chuàng)新測量算法。這些元件與精密的自動化制造和校準(zhǔn)過程相結(jié)合,打造出一款獨特的產(chǎn)品,能夠?qū)崿F(xiàn)不折不扣的測量性能。

領(lǐng)先的真空測量技術(shù)

VPM-5 SmartPirani™ 傳感器具有卓越的性能,通過將熱導(dǎo)率真空計的可用測量范圍擴大了 1 到 3 個數(shù)量級,為真空測量樹立了新的標(biāo)桿。

VPM-5 系列

通過集成 MEMS 隔膜傳感器,消除了熱導(dǎo)率計粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性,該傳感器的精度性能可與更昂貴的電容壓力計相媲美。測量與氣體類型和濃度無關(guān),增強了測量的信心,并確保更準(zhǔn)確地控制真空系統(tǒng)的排氣過程,這有助于防止真空系統(tǒng)過壓。

針對具有挑戰(zhàn)性的工業(yè)應(yīng)用進行了優(yōu)化

對于傳感器可能暴露于腐蝕性或腐蝕性氣體中的應(yīng)用,SmartPirani™ 可提供保形保護涂層,作為有效的屏障。

SmartPirani™ 傳感器系列現(xiàn)在提供可選的陶瓷或聚對二甲苯保護屏障,防止傳感器材料腐蝕或氧化。陶瓷具有高度耐腐蝕性,是電容式隔膜真空計中真空傳感器隔膜的成熟材料。聚對二甲苯是一種獨特的聚合物,具有高度的耐腐蝕性和疏水性。聚對二甲苯阻隔層專為醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計,包括凍干和滅菌。

在某些真空過程中,顆粒會損壞真空計。對于這些應(yīng)用,SmartPirani™ 傳感器配有保護擋板,作為對宏觀顆粒的屏障。結(jié)合保護涂層選項,新型 SmartPirani™ 傳感器專為惡劣的真空環(huán)境而設(shè)計。

VPM-5 帶擋板傳感器
VPM-5 帶保護擋板的傳感器

測量和控制高級真空過程

VPM-5 SmartPirani™ 專為一流的真空氣體壓力測量和控制而設(shè)計。多個輸出選項提供的不僅僅是壓力測量信號。

用于工業(yè)控制系統(tǒng)的靈活模擬輸出

模擬輸出電壓為外部讀數(shù)或控制提供信號。VPM-5 標(biāo)配 1VDC/十倍頻程 mbar、Torr 或 Pascal 的電壓輸出信號。

此外,它還可以由用戶配置或訂購,預(yù)配置大量其他模擬輸出選項,從而可以直接更換其他供應(yīng)商的儀表。

 

VPM-5 模擬輸出
將數(shù)字傳感器連接到 VPM-5 傳感器

啟用與外部設(shè)備的數(shù)字連接

RS-232 和 RS-485 串行接口可用于將壓力和溫度測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。

數(shù)字接口支持診斷、預(yù)測性維護、服務(wù)、校準(zhǔn)、設(shè)定點配置、模擬輸出縮放以及實時真空壓力測量的采集,以實現(xiàn)屏幕可視化。

 

具有可配置設(shè)定點的可靠繼電器控制

三個獨立的固態(tài)開關(guān)繼電器可用于泵、閥門、安全聯(lián)鎖電路和其他外部設(shè)備的外部控制。

與機電繼電器相比,固態(tài)繼電器具有卓越的可靠性和更快的開關(guān)時間,同時提供無電弧觸點,并且在開關(guān)時不會產(chǎn)生 EMI(電磁干擾)。

SmartPirani™ 繼電器經(jīng)久耐用,經(jīng)過 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證,在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)應(yīng)用時具有最大的信心。

 

VPM-5 設(shè)定點控制
帶 RJ45 的 VPM-5 SmartPirani

跨供應(yīng)商兼容性,實現(xiàn)靈活集成?

VPM-5 SmartPirani™ 傳感器可與其他供應(yīng)商的真空傳感器和變送器配合使用,具有引腳兼容性、模擬電壓、壓力信號仿真和數(shù)字協(xié)議仿真功能。

這些仿真功能支持對傳統(tǒng)皮拉尼線傳感器、對流計和傳統(tǒng)微型皮拉尼傳感器進行快速、無縫升級,無需更改布線和系統(tǒng)設(shè)備軟件即可過渡到下一代真空傳感器。

VPM-5 SmartPirani™ 在取代傳統(tǒng)真空計和傳感器時,可在許多應(yīng)用中降低成本并增強測量性能。

其他供應(yīng)商的仿真還提供與其他供應(yīng)商的控制器和顯示單元的兼容性。

 

通過電源電壓線連接數(shù)字

傳統(tǒng)上,其他供應(yīng)商配備 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 連接器的傳感器不提供數(shù)字通信。新穎的 S4-Connect 接口可通過電源線上的數(shù)字通信訪問 VPM-5 傳感器的數(shù)字核心。

S4-Connect USB 通訊器可輕松配置傳感器設(shè)置、診斷和校準(zhǔn)調(diào)整。

 

VPM-5 S4-Connect

可定制的參數(shù)以滿足應(yīng)用程序需求

VPM-5 傳感器可以定制配置,以滿足特定的應(yīng)用要求,并開箱即用地適用于特定的設(shè)備安裝。預(yù)配置選項的示例包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點配置和輸出信號縮放。

定制產(chǎn)品將被分配一個唯一的零件編號,以便將來輕松直接地重新訂購。

PVD 系列

PVD 涂層

VPM-5 具有可維修的擋板保護,可在物理氣相沉積 (PVD) 涂層應(yīng)用中使用并延長使用壽命。

熔爐真空應(yīng)用

在真空熱處理過程中測量和控制真空??蛇x的擋板和涂層保護可用于工業(yè)應(yīng)用。

空間模擬

空間模擬

在模擬太空的惡劣環(huán)境時測量真空氣體壓力。

H2 真空

氫氣供應(yīng)

氫氣儲罐和供應(yīng)管線中絕緣真空的測量和監(jiān)測。

半導(dǎo)體

半導(dǎo)體

半導(dǎo)體應(yīng)用中的 CVD、PVD 和前級真空測量。提供陶瓷耐腐蝕傳感器。

質(zhì)譜儀

質(zhì)譜儀

充分利用 VPM-5 在質(zhì)譜儀儀器中提供的低壓測量功能。

行業(yè)應(yīng)用和市場焦點

VPM-5 SmartPirani™ 專為對高級真空過程進行可靠測量和控制而設(shè)計,適用于工業(yè)和科學(xué)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。VPM-5 配置有多種選擇,可滿足各種應(yīng)用的不同要求。


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