PREVAC UHV-HP AFM System UHV-HP原子力顯微鏡分析系統(tǒng)

UHV-HP AFM平臺是用于在寬壓力范圍內(nèi)工作的原子力顯微鏡的獨特分析系統(tǒng)。它專注于高度靈活的樣品環(huán)境，專用于氣固界面的前沿研究。該系統(tǒng)配備了快速進入的負載鎖定和準備室。

• AFM腔室-由不銹鋼制成，帶有用于當前和其他設(shè)備的不同尺寸的連接法蘭。工作壓力范圍為1 atm至UHV（在150oC烘烤后），
• 用于AFM模塊的特殊滑軌，以方便檢修顯微鏡，
  
• 加載鎖定室允許加載和存儲多達4個標志式樣品架和4個懸臂（針尖），
• 帶四軸機械手的兩級準備室（集成石英天平，加熱可能性高達1000°C），
• 配備電子束蒸發(fā)器EBV?40A1和離子源IS 40C1的制備室，用于樣品表面清潔，
• 特殊設(shè)計的抽氣系統(tǒng)–真空泵和渦輪分子泵的隔振，
• 沉積速率測量系統(tǒng)TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS，用于控制和穩(wěn)定樣品的溫度，
• 整個抽氣和加氣系統(tǒng)均由PLC控制器控制，
• 用戶友好的線性傳輸系統(tǒng)。