PREVAC 4-6 軸氦氣機械手（開放式循環(huán)） 4-6 axes Helium Manipulators (Open Cycle)
該機械手是一種高精度、高剛性、模塊化結(jié)構(gòu)的UHV試樣機械手，適用于X、Y和Z的一系列直線運動和R1、R2和R3旋轉(zhuǎn)。
模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加替換明確定義的模塊來升級或修改規(guī)范。
選項
▪ 全電動
▪ 全軟件控制
▪ 氦氣回收系統(tǒng)
▪ 可以安裝角度裝置進行 PES 校準(zhǔn)
▪ 溫度穩(wěn)定
▪ 加熱選項??：直接、電阻或 EB
加熱和冷卻方法
樣品溫度取決于樣品架類型：
▪ 用10 A直接加熱
▪ 電阻加熱高達(dá) 1100 °C
▪ EB 加熱高達(dá) 1400 °C
▪ 液氦冷卻：
– 4 軸機械手 –低至 4 K?*
– 5 軸機械手 –低至 4.8 K?* /?10 K?**
– 6 軸機械手 –低至 7 K?* /?15 K?**
* 無需加熱選項和溫度即可實現(xiàn)參數(shù)。穩(wěn)定。
** 通過加熱選項獲得的參數(shù)。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 低至 10?-11毫巴 |
| 加熱方式 | 電阻，EB，直接 |
| 冷卻方式 | 氦氣 |
| XY范圍 | ± 12.5 毫米 |
| ?? 位置控制 | 千分尺/機動* |
| ?? 分辨率（手動/機動） | 5微米/1微米 |
| Z范圍 | 高達(dá) 600 毫米 |
| ?? 位置控制 | 手輪/電動* |
| ?? 分辨率（手動/機動） | 1 mm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm （1 μm 應(yīng)要求提供） |
| R1范圍 | ± 180° 或 ± 360° |
| ?? 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋通/機動* |
| ?? 分辨率（機動） | 0.1° |
| R2范圍 | 360°連續(xù) |
| ?? 位置控制 | 機動* |
| ?? 分辨率（機動） | 0.1° |
| R3范圍 | – 20° 至 +40° |
| ?? 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋通/機動* |
| ?? 分辨率（機動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 高達(dá) 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應(yīng)用。
可根據(jù)要求為客戶電機或驅(qū)動器準(zhǔn)備機械手。
