描述
用于制備、表征和研究薄膜和納米結(jié)構(gòu)樣品中的生長(zhǎng)、擴(kuò)散、晶格動(dòng)力學(xué)和磁性的超高真空系統(tǒng)。
規(guī)格
核共振散射 (NRS) 實(shí)驗(yàn)在 NRS 室中進(jìn)行,安裝在 2 圓衍射儀上,允許在 100 K 至 2000 K 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行掠入射散射幾何實(shí)驗(yàn)。兩個(gè)直徑 Be 窗口用于核前向散射 (NFS) 實(shí)驗(yàn)。第三個(gè) Be 窗口允許檢測(cè)核非彈性散射 (NIS) 輻射。
可以使用兩個(gè)分子束蒸發(fā)器在制備室中沉積超薄膜和多層結(jié)構(gòu)樣品。應(yīng)用低能電子衍射和俄歇電子光譜的標(biāo)準(zhǔn)表面分析技術(shù)以控制制備的樣品的結(jié)構(gòu)和組成。
精密的機(jī)械手允許在 100 K 到 2200 K 的范圍內(nèi)冷卻/加熱樣品。
分配室配有樣品轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu),用于不同室之間的樣品交換。最多可存儲(chǔ) 6 個(gè)特殊樣品架的存儲(chǔ)室直接連接到分配室。樣品架可以通過負(fù)載鎖引入 UHV 環(huán)境。負(fù)載鎖的端口允許連接 UHV 運(yùn)輸箱,以在 UHV 條件下運(yùn)輸制備和表征的樣品。