4-5 軸 LN2機器人
4-5* 軸 LN2具有 X、Y、Z、R1 和 R2 軸的機械手是一種模塊化結(jié)構(gòu)的高精度、高剛性、UHV 樣品機械手，可以使用液氮冷卻和加熱。
模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規(guī)范。機械手的所有軸都由步進電機或伺服電機驅(qū)動。X、Y 和 Z 軸也可以根據(jù)需要手動作。標準安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5 軸機械手是 XY 平臺、Z 滑塊和旋轉(zhuǎn)平臺的組合。
* 可根據(jù)要求提供用于 PTS 樣品架的 6 軸機械手。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標準底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 減少到 10 個-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | 在2 |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 75 – 800 mm?（可根據(jù)要求提供） |
| 位置控制 | 手輪/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 50 μm / 標準 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動* |
| 分辨率（手動/電動） | 1°/0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續(xù) / ±90° |
| 位置控制 | 機動 |
| 分辨率（電動） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進電機或伺服電機 – 取決于應(yīng)用。
機械手可以根據(jù)要求為客戶的電機或驅(qū)動器做好準備。
選項
- 全機動化
- 完全軟件控制
- 溫度穩(wěn)定
- 加熱選項：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
- 適用于反應(yīng)氣體的加熱器（電阻加熱）
其他信息
多軸機械手配置有一個樣品接收站，可以接受 PTS 系列樣品架之一。該工作站配有 6 個電觸點（2 個 K、C 或 E 型熱電偶;2 個高達 1000 V 的樣品偏壓，2 個高達 20 A 的加熱電流）和用于液氮冷卻的藍寶石球冷卻觸點。
機械手包括所有必要的電氣、氣體和機械饋入裝置，以及用于 XY、Z、R1 和 R2 軸的步進電機和步進電機驅(qū)動器。
