4-5 軸 LN2旗形樣品架
帶 LN 的機(jī)械手2旗形樣品架的冷卻功能在樣品架數(shù)量、各種加熱方法和許多有用的選項方面為工作站開發(fā)提供了多種可能性。這與各種不同的旗架類型相結(jié)合,使該機(jī)械手站非常通用。
模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級或修改規(guī)范。機(jī)械手的所有軸都由步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)驅(qū)動。X、Y 和 Z 軸也可以根據(jù)需要手動作。標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5* 軸機(jī)械手是 XY 平臺、Z 滑塊和旋轉(zhuǎn)平臺的組合。
* 可根據(jù)要求提供用于 PTS 樣品架的 6 軸機(jī)械手。
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
壓力范圍 | 減少到 10 個-11毫巴 |
加熱方法 | 電阻式, EB, 直接 |
冷卻方式 | 在2 |
XY 范圍 | ± 12.5 毫米 |
位置控制 | 千分尺/電動* |
分辨率(手動/電動) | 5 微米 / 1 微米 |
Z 范圍 | 75 – 800 mm?(可根據(jù)要求提供) |
位置控制 | 手輪/電動* |
分辨率(手動/電動) | 500 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm(可根據(jù)要求提供 1 μm) |
R1 范圍 | ± 175° |
位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動* |
分辨率(電動) | 0.1° |
R2 范圍 | 360° 連續(xù) / ±90° |
位置控制 | 機(jī)動 |
分辨率(電動) | 0.1° |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶的電機(jī)或驅(qū)動器準(zhǔn)備。
選項
- 全機(jī)動化
- 完全軟件控制
- 溫度穩(wěn)定
- 加熱選項:直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
- 適用于反應(yīng)氣體的加熱器(電阻加熱)