厚度監(jiān)測(cè)器 TM13 & TM14
TM13 和 TM14 設(shè)備包括：石英振蕩器、頻率測(cè)量系統(tǒng)和通信接口。
描述
它連接到石英諧振器的輸入元件。測(cè)量結(jié)果通過 RS232 傳輸?shù)街髟O(shè)備：PC 或 TMC13 控制器。通過 TMC13 控制器或 PC 進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。專用于精確速率測(cè)量的可用軟件。記錄石英諧振器頻率隨時(shí)間的變化（以圖形的形式）。允許用戶從選定的時(shí)間間隔計(jì)算蒸發(fā)速率。適用于 MBE 等應(yīng)用。
特征
TM13
- 頻率分辨率：0.1 Hz
- 每秒測(cè)量次數(shù)：4（固定）
- 石英振蕩器的最大頻率：6 MHz
- 穩(wěn)定性：0.5 ppm
TM14
- 頻率分辨率：0.01 Hz
- 每秒測(cè)量次數(shù)：0.5、1、2、4、10（可選）
- 石英振蕩器的最大頻率：6 MHz
- 穩(wěn)定性：0.5 ppm
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 電源 | 5V 直流 | |
| 電流消耗 | 最大 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| 厚度分辨率 | 0.1 ? | 0,01 ? |
| 速率分辨率 | 0.1 ?/秒 | 0.01 ?/秒 |
| 頻率分辨率 | 0.1 赫茲 | 0.01 赫茲 |
| 頻率穩(wěn)定性 | 0.5 頁/分鐘 | 0.5 頁/分鐘 |
| 每秒測(cè)量次數(shù) | 4 | 0.5;1;2;4;10 （可選） |
| 通信接口 | RS232 接口 | |
| 尺寸 [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 毫米（寬 x 高 x 深） | |
| 重量（大約） | 0.1 千克 | |
選項(xiàng)
- 通信接口 RS485（訂貨時(shí)指定）
