TPD/TDS 系統(tǒng)
獨立的 UHV 裝置，用于測量超薄膜的吸附/解吸，能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)進行高精度溫度控制。
特征
? 極限壓力 1×10-9毫巴
– TPD/TDS腔室，帶有快速PTS樣品架裝載系統(tǒng)
– 專門設(shè)計的錐形采樣端件
– 在很寬的溫度范圍內(nèi)（-170°C至1200°C）
進行高精度的溫度控制 – 用于TDS
的計算機控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件 – 用于兩個PTS樣品架
的負載鎖室 – 從負載鎖到TPD腔室的可靠和快速的線性傳輸系統(tǒng)
選項
提供許多升級選項，例如：
– 額外的運動軸和機械手
的全電動化 – 可以通過精確的PLC壓力控制，將壓力范圍從UHV擴展到1個大氣壓
– 氣體計量系統(tǒng)（手動或精確使用PLC控制）
– 溶劑計量系統(tǒng)
– 專用于在腐蝕性環(huán)境中
工作的樣品架 – 加熱和LN2負載鎖
的冷卻選項 ? 用于樣品制備
的專用腔室 ? 用于不同質(zhì)量范圍的殘留氣體分析儀
