接收、重定向樣品架并將其從一個(gè)傳輸機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)移到另一個(gè)傳輸機(jī)構(gòu)。

重新定位室通常通過(guò)分配室泵組進(jìn)行泵送（如果需要，也可以獨(dú)立泵送）。該腔室配備了幾個(gè)大型視口。重新定位腔室允許輕松擴(kuò)展各種數(shù)量的腔室的 UHV 系統(tǒng)。