合成
創(chuàng)新的軟件工具經(jīng)過優(yōu)化,可輕松全面地控制整個沉積過程和系統(tǒng)中的所有組件。
Synthesium 專用于真空沉積系統(tǒng),包含方便直觀的圖形用戶界面,并允許以兩種通用模式作系統(tǒng):
? 手動控制所有系統(tǒng)元件
? 通過預定義的配方進行自動控制
描述
一般功能:
? 泵、閥門、源、基材等元素的狀態(tài)由彩色和動畫
的圖形模塊表示 ? 可以調(diào)整所有系統(tǒng)組件(MFC、閥門、泵、儀表、電源等)的參數(shù)。
? 可以創(chuàng)建序列的自動過程,包括循環(huán)、子配方(宏)、校準、暫停等等
? 配方可以在 python 腳本
中使用任何進程的新子配方(宏)進行擴展 ? 配方可以通過拖放作或從文本文件
加載在配方編輯器 (XManager) 中定義 ? 使用 9 個級別中的 1 個(例如工程師、 科學家、作員)
? 過程數(shù)據(jù)可以存儲在基于 MySQL 數(shù)據(jù)庫
的存檔器中 ? 生成包含所有需要過程信息
的文本協(xié)議文件 ? 通過 VNC 協(xié)議進行遠程訪問
Synthesium 軟件基于?Tango 技術,非常容易使用新硬件進行擴展。所有配方和新的硬件修改都可以使用開源工具或在 python 腳本中完成。
真空沉積系統(tǒng)由工業(yè)標準 PC 控制,并安裝了 MySQL 數(shù)據(jù)庫,用于所有數(shù)據(jù)。
Synthesium 可以在系統(tǒng)模擬模式下在單獨的 PC 上離線安裝和作。當用戶想要準備和測試配方時,這非常有用。