差動(dòng)泵浦旋轉(zhuǎn)饋入件
通過(guò) UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度
饋入件具有兩級(jí)差動(dòng)泵送，由特殊密封表面上的石墨浸漬膨脹氟橡膠密封件隔離。預(yù)加載的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)位置。饋入裝置配有蝸桿傳動(dòng)裝置，可提供精細(xì)的角度調(diào)整。它們可配備消隙步進(jìn)電機(jī)。
提供不同的電機(jī)或電機(jī)控制系統(tǒng)（步進(jìn)電機(jī)、伺服電機(jī)、IcePAP）。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 基座法蘭 | 型號(hào) DN 40CF， DN 63CF， DN 100CF， DN 160CF |
| R1 旋轉(zhuǎn)控制 | 手輪 / 步進(jìn)電機(jī) （可選） |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)/外部光學(xué)編碼器） | 1° / 0.1° / 0.05° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
法蘭
之間的直徑和距離
| 基座法蘭 | 內(nèi)徑 [mm] | 距離 L [mm] |
| 公稱通徑 40CF | 41 | 35.2 |
| DN 63CF 系列 | 66 | 48 |
| 公稱通徑 100CF | 103 | 47 |
| DN160CF | 153.1 | 44 |
應(yīng)用
差動(dòng)泵浦旋轉(zhuǎn)饋入裝置可以與機(jī)械手和任何其他精密定位設(shè)備結(jié)合使用。
