多軸 （X、Y、Z1、Z2、R1、R2、R3） 電動機(jī)械手設(shè)計(jì)用于在超高真空條件下精確定位樣品架。

研究臺可以沿 XYZ 軸移動，繞 Z 軸旋轉(zhuǎn)，以及在 +/- 3° 范圍內(nèi)相對于兩個正交方向傾斜。第二個 Z 移動可以在實(shí)驗(yàn)時進(jìn)行額外的精確樣品定位。它配備了溫度監(jiān)控系統(tǒng)。這些機(jī)械手標(biāo)配了傾角計(jì)。