4-6 軸 LHe 機(jī)械手（閉式循環(huán)）
帶氦低溫恒溫器的機(jī)械手是一種多功能的閉式循環(huán)系統(tǒng)，適用于許多 UHV 表面科學(xué)研究。
它可以配置Z滑塊、XY平臺(tái)或差動(dòng)泵浦旋轉(zhuǎn)饋入裝置。模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來(lái)升級(jí)或修改規(guī)格。該系統(tǒng)通常包括壓縮機(jī)、高壓軟管、膨脹器、溫度控制器、加熱器和傳感器。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 壓力范圍 | 1 bar 至 10-11毫巴 |
| 加熱方法 | 電阻式， EB， 直接 |
| 冷卻方式 | LHe |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米* |
| 位置控制 | 千分尺/電動(dòng)** |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 5 微米 / 1 微米 |
| Z 范圍 | 最大 300 毫米 |
| 位置控制 | 手輪/電動(dòng)** |
| 分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)） | 50 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm） |
| R1 范圍 | ± 180° |
| 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動(dòng)** |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| R2 范圍 | 360° 連續(xù) |
| 位置控制 | 機(jī)動(dòng)** |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| R3 范圍 | – 20° 至 +40° |
| 位置控制 | 旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動(dòng)** |
| 分辨率（電動(dòng)） | 0.1° |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
* 用于底座法蘭 DN 160CF
** 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶的電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器做好準(zhǔn)備。
選項(xiàng)
- 全機(jī)動(dòng)化
- 完全軟件控制
- 氦氣回收系統(tǒng)
- 可以安裝角度設(shè)備進(jìn)行 PES 校準(zhǔn)
- 用于硅樣品直接加熱的附加電觸點(diǎn)
- 低振動(dòng)低溫恒溫器
- 溫度穩(wěn)定
- 加熱選項(xiàng)：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
加熱/冷卻
樣品溫度取決于樣品架類型：
- EB 加熱 –?最高 1000 °C（第二階段），
- 用?10 A?直接加熱，
- 電阻加熱（根據(jù)要求），
- 液氦冷卻：
–?低于 10 K*（5 軸機(jī)械手）
* 在沒有穩(wěn)定和加熱選項(xiàng)的情況下實(shí)現(xiàn)的參數(shù)
