波蘭PREVAC,科學(xué)產(chǎn)品,組件,機(jī)械手,分析和制備機(jī)械手,4-5軸LN2機(jī)械手

4-5 軸 LN2機(jī)器人

4-5* 軸 LN2具有 X、Y、Z、R1 和 R2 軸的機(jī)械手是一種模塊化結(jié)構(gòu)的高精度、高剛性、UHV 樣品機(jī)械手，可以使用液氮冷卻和加熱。

模塊化結(jié)構(gòu)意味著可以通過添加或更換定義明確的模塊來升級(jí)或修改規(guī)范。機(jī)械手的所有軸都由步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。X、Y 和 Z 軸也可以根據(jù)需要手動(dòng)作。標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5 軸機(jī)械手是 XY 平臺(tái)、Z 滑塊和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的組合。

* 可根據(jù)要求提供用于 PTS 樣品架的 6 軸機(jī)械手。

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)準(zhǔn)底座法蘭DN 100CF 或 DN 160CF
壓力范圍減少到 10 個(gè)-11毫巴
加熱方法電阻式， EB， 直接
冷卻方式在2
XY 范圍± 12.5 毫米
位置控制千分尺/電動(dòng)*
分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)）5 微米 / 1 微米
Z 范圍75 – 800 mm?（可根據(jù)要求提供）
位置控制手輪/電動(dòng)*
分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)）50 μm / 標(biāo)準(zhǔn) 10 μm（可根據(jù)要求提供 1 μm）
R1 范圍± 180°
位置控制旋轉(zhuǎn)饋入裝置/電動(dòng)*
分辨率（手動(dòng)/電動(dòng)）1°/0.1°
R2 范圍360° 連續(xù) / ±90°
位置控制機(jī)動(dòng)
分辨率（電動(dòng)）0.1°
烘烤溫度最高 150 °C

* 步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī) – 取決于應(yīng)用。
機(jī)械手可以根據(jù)要求為客戶的電機(jī)或驅(qū)動(dòng)器做好準(zhǔn)備。

選項(xiàng)

  • 全機(jī)動(dòng)化
  • 完全軟件控制
  • 溫度穩(wěn)定
  • 加熱選項(xiàng)：直接加熱、電阻加熱或 EB 加熱
  • 適用于反應(yīng)氣體的加熱器（電阻加熱）

其他信息

多軸機(jī)械手配置有一個(gè)樣品接收站，可以接受 PTS 系列樣品架之一。該工作站配有 6 個(gè)電觸點(diǎn)（2 個(gè) K、C 或 E 型熱電偶;2 個(gè)高達(dá) 1000 V 的樣品偏壓，2 個(gè)高達(dá) 20 A 的加熱電流）和用于液氮冷卻的藍(lán)寶石球冷卻觸點(diǎn)。

機(jī)械手包括所有必要的電氣、氣體和機(jī)械饋入裝置，以及用于 XY、Z、R1 和 R2 軸的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。


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