1-3 軸機(jī)械手
根據(jù)客戶的確切個性化需求，我們可以設(shè)計(jì)和提供各種定制的 UHV 機(jī)械手。縱器可以在三個正交軸 XYZ 中的任何一個上移動樣品。使用附加的旋轉(zhuǎn)裝置，可以實(shí)現(xiàn)圍繞 R1、R2 或 R3 軸的額外旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。為了實(shí)現(xiàn)最高的定位精度、分辨率和可重復(fù)性，XYZ 機(jī)械手和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動運(yùn)動可以電動化?？v器可以在任何方向上工作。
加熱/冷卻
每個機(jī)械手都有一個用于 PTS 或 Flag 型樣品架的樣品接收臺。根據(jù)要求，可以使用直流電或 EB 方法對樣品進(jìn)行電阻加熱。可以通過低溫恒溫器進(jìn)行冷卻，液氮 LN 流經(jīng)低溫恒溫器2或液氦 LHe。
