用于樣品表面離子蝕刻的 UHV 系統(tǒng)，具有高度均勻性。推薦用于表征技術(shù)（例如 TEM）的樣品制備。

特征

• 全電動(dòng)?2 軸機(jī)械手，帶快速作、自動(dòng)快門和集成法拉第杯
• 機(jī)械手具有高效的水冷系統(tǒng)，可確保在此過程中保持所需的溫度穩(wěn)定性
• 多種板式樣品架類型，最大尺寸為 6 英寸
• 適用于無網(wǎng)格/網(wǎng)格、RF/DC 離子源
• 用于控制和監(jiān)控過程和所有組件的專用軟件和?HMI 設(shè)備
• 內(nèi)部保護(hù)襯墊/防護(hù)罩
• 用于電子束蒸發(fā)器等的底部法蘭
• 設(shè)計(jì)易于擴(kuò)展，帶有傳輸系統(tǒng)
• 前開門，便于進(jìn)入工藝室