TPD/TDS 系統(tǒng)
獨(dú)立的 UHV 裝置，用于測(cè)量超薄膜的吸附/解吸，能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行高精度溫度控制。
特征
? 極限壓力 1×10-9毫巴
– TPD/TDS腔室，帶有快速PTS樣品架裝載系統(tǒng)
– 專門設(shè)計(jì)的錐形采樣端件
– 在很寬的溫度范圍內(nèi)（-170°C至1200°C）
進(jìn)行高精度的溫度控制 – 用于TDS
的計(jì)算機(jī)控制的數(shù)據(jù)采集和處理軟件 – 用于兩個(gè)PTS樣品架
的負(fù)載鎖室 – 從負(fù)載鎖到TPD腔室的可靠和快速的線性傳輸系統(tǒng)
選項(xiàng)
提供許多升級(jí)選項(xiàng)，例如：
– 額外的運(yùn)動(dòng)軸和機(jī)械手
的全電動(dòng)化 – 可以通過精確的PLC壓力控制，將壓力范圍從UHV擴(kuò)展到1個(gè)大氣壓
– 氣體計(jì)量系統(tǒng)（手動(dòng)或精確使用PLC控制）
– 溶劑計(jì)量系統(tǒng)
– 專用于在腐蝕性環(huán)境中
工作的樣品架 – 加熱和LN2負(fù)載鎖
的冷卻選項(xiàng) ? 用于樣品制備
的專用腔室 ? 用于不同質(zhì)量范圍的殘留氣體分析儀
