帶 6 軸力傳感器的 UHV 摩擦計(jì)。

用于研究兩個(gè)表面之間的摩擦學(xué)和機(jī)械性能（例如，用于壓痕和斷裂實(shí)驗(yàn)）的模塊，溫度范圍很廣，從 UHV 到環(huán)境壓力條件。

特征

• 法向力范圍：從 0.1 N 到 15 N
• 摩擦測量范圍為 0.01 至 2
• 施加負(fù)載的閉環(huán)控制
• 球盤式旋轉(zhuǎn)摩擦計(jì) – 往復(fù)式或連續(xù)式
• 壓力范圍 10 起^-9mbar 高達(dá) 1 個(gè)大氣壓的氣體和蒸氣 （H₂、O₂、 N₂、 H₂O、CH₄、CxHy 等）
• 溫度：
  – 從室溫到 600 °C – 對于球狀樣品
  – 從 -120 °C 到 600 °C – 對于扁平樣品
• 配備：
  – 2 軸上部機(jī)械手（帶加熱功能），用于球形樣品架（最大 1/2“）
  – 1 軸下部機(jī)械手（帶加熱和冷卻功能），用于平面樣品架
• 模塊化設(shè)計(jì)允許連接沉積模塊（MBE、PLD、濺射）或分析模塊（XPS/UPS/ARPES、NAP XPS、IR 等）