描述
該多功能系統(tǒng)專為對材料表面進(jìn)行精確多樣的分析而設(shè)計。
規(guī)格
系統(tǒng)由固定真空室的主機(jī)架組成；分析室、制備室、負(fù)載鎖定室和線性轉(zhuǎn)移。所有框架都是獨立的，并配有帶螺釘鎖定裝置的腳輪，用于地板定位?？蚣芸梢愿鶕?jù)需要斷開連接并移動到實驗室內(nèi)的其他位置。每個框架還配備了自己的烘烤帳篷。該系統(tǒng)非常通用，未來可以進(jìn)一步擴(kuò)展以添加例如切割室、存儲室和/或 PLD 室。
該系統(tǒng)有一個獨立的獨立式控制器柜，用于真空和儀表設(shè)備。
UHV 系統(tǒng)包括各種互鎖渦輪分子泵組、離子泵和鈦升華泵。泵送系統(tǒng)、儀表和閥門（安全和通風(fēng)）完全由微處理器和軟件控制，并帶有完整的安全聯(lián)鎖裝置。
各個腔室都通過光纖出口進(jìn)行內(nèi)部照明，以監(jiān)視腔室之間的樣品轉(zhuǎn)移/支架機(jī)制。
該系統(tǒng)配備有蒸餾水冷卻器。
