位于真空室內(nèi)的水平和垂直百葉窗通過單軸機械手平移，以調(diào)整光束橫截面的形狀。診斷系統(tǒng)包括光束強度和光束位置的全自動高精度監(jiān)視器，它利用光電二極管或金網(wǎng)。光束輪廓成像由熒光檢測器執(zhí)行。系統(tǒng)還可以配備溫度傳感器。

診斷強度監(jiān)視器允許測量光發(fā)射電流并施加極化電壓。

腔室可以有一個花崗巖塊來降低振動水平。

所有機械手都是電動和軟件控制的。

百葉窗可帶或不帶水冷。表面可以涂上熒光材料?？筛鶕?jù)要求提供不同的材料和形狀。