描述

環(huán)境壓力 1 mbar – 10?^-10?mbar XPS (ESCA) / UPS 實(shí)驗(yàn)的專用系統(tǒng)，分析室中的樣品溫度可控，從 100 K 到 850 K。完整的 PLC 保護(hù)和軟件控制，包括機(jī)器狀態(tài)的清晰可視化。所有集成設(shè)備、供應(yīng)品和輔助設(shè)備的數(shù)據(jù)采集和控制。

• 環(huán)境壓力室 1 mbar – 10?^-10?mbar
• 配備HP分析儀
• 差分泵浦 X 射線單色器
• 差分泵浦雙陽(yáng)極 X 射線源
• 差動(dòng)泵浦紫外光源
• 主室和分析儀的四個(gè)泵級(jí)
• 分析室的整體鹵素烘烤
• 樣品架的激光和電阻加熱
• 樣品溫度范圍廣：100 K – 2200 K
• 樣品制備室
• 高壓反應(yīng)器 – 高達(dá) 20 bar，650°C
• 具有加熱和熱穩(wěn)定能力的氣體計(jì)量系統(tǒng)
• 初步加熱介紹
• 樣品存放室，最多可存放 5 個(gè)樣品架
• XPS (ESCA) / UPS 在環(huán)境壓力下的 TDS 樣品測(cè)量