一種分析 UHV 系統(tǒng)，專門用于研究低溫和 UHV 條件下固態(tài)表面的化學(xué)和物理特性。
傳輸系統(tǒng)：
迷你 PTS 樣品架。
系統(tǒng)配置：
– 基礎(chǔ)壓力范圍為 5*10?-11?mbar 的分析室包括：
- 具有 LHe 冷卻功能的閉環(huán) 5 軸高分辨率機(jī)械手（樣品溫度低至 13K）——全電動(dòng)
- 高性能電子分析儀 XPS/UPS/ARPES
- 用于 XPS 測(cè)量的單色 X 射線源
- 帶有用于 UPS 測(cè)量的專用泵系統(tǒng)的單色 UV 源。
- 其他組件的額外自由端口
– 裝載鎖定室允許裝載多達(dá) 5 個(gè) miniPTS 樣品架
– 兩級(jí)制備室配備：
- 具有 LN?2冷卻和高達(dá) 1200°C EB 加熱的高精度 4 軸機(jī)械手
- 用于樣品清潔的離子濺射源
- 沉積速率測(cè)量系統(tǒng)：石英平衡和厚度監(jiān)視器
- 電子束蒸發(fā)器
- LEED 用于 Leed/Auger 測(cè)量
- 未來其他組件的額外自由端口
– 存儲(chǔ)室，包括用于六個(gè) miniPTS 樣品架的停放機(jī)制
– 用于轉(zhuǎn)移樣品的徑向分配室 (UFO) 在 UHV 壓力下在室之間轉(zhuǎn)移
– 配件：
- 一套專用、多功能、多材料樣品架
- 所有電子單元的特殊機(jī)架
- 特殊設(shè)計(jì)的烘烤系統(tǒng)
- 冷水機(jī)
- 工具包
