XYZ 迷你載物臺(tái)
具有 X、Y 和 Z 運(yùn)動(dòng)的高精度 UHV 試樣平移器。
標(biāo)準(zhǔn)安裝法蘭為 DN 63CF，標(biāo)準(zhǔn)移動(dòng)法蘭為 DN 40CF。所有三個(gè)軸都合并在一個(gè)微型平臺(tái)中，以極低的價(jià)格提供出色的性能。移動(dòng)物可以在任何方向工作。
其他信息：
只有 Z 機(jī)芯可以電動(dòng)。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 基座法蘭 | DN 63CF 或 DN 100CF |
| 移動(dòng)法蘭 | 公稱通徑 40CF |
| XY 范圍 | ± 12.5 毫米 |
| 分辨率 | 5 微米 |
| Z 范圍 | 75 – 100 毫米 |
| 分辨率（手動(dòng)） | 0.5 毫米 |
| 烘烤溫度 | 最高 150 °C |
| 壓縮/延長長度 | 壓縮長度 [mm] 延伸長度 [mm] | ||
| Z 范圍 [mm] | DN 40/40CF 波紋管 ID39 | DN63/40CF 波紋管 ID39 | DN100/40CF 波紋管 ID39 |
| 75 | 179 254 | 179 254 | 179 254 |
| 100 | – | 179.5 279.5 | 79.5 279.5 |
應(yīng)用
XYZ 迷你機(jī)械手的設(shè)計(jì)易于使用和方便。X 和 Y 機(jī)芯的厚度± 12.5 毫米，具體取決于安裝的配件。Z 軸移動(dòng)為 75-250 毫米，具體取決于應(yīng)用。
