NLS4系列線性滑塊可提供XY和XYZ配置。NLS4線性臺(tái)真空兼容版本與標(biāo)準(zhǔn)NLS4在尺寸上相同。臺(tái)架的每個(gè)部分都經(jīng)過修改，以最大程度地減少虛擬泄漏和氣體放出。
所有鋁件均經(jīng)過清潔處理，軸承使用Braycote 601EF潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑，所有電線使用聚四氟乙烯絕緣。步進(jìn)電機(jī)和限位開關(guān)專為真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。緊固件采用不銹鋼制造，如果用于盲孔，則進(jìn)行通氣處理以消除虛擬泄漏。
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用不銹鋼ACME導(dǎo)程螺桿和乙酸樹脂驅(qū)動(dòng)螺母。驅(qū)動(dòng)螺母提供零回程間隙操作，可自動(dòng)調(diào)整磨損，確保臺(tái)架壽命內(nèi)零回程間隙。
線性導(dǎo)向軸承提供平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)、高負(fù)載能力和剛度。由于臺(tái)架在整個(gè)行程上受到支撐，因此可以實(shí)現(xiàn)良好的懸臂載荷能力。
電機(jī)和信號(hào)線長(zhǎng)0.6米（24英寸），并帶有DB-9連接器。請(qǐng)注意，DB-9連接器不適用于真空環(huán)境。
Newmark真空位移平臺(tái)技術(shù)規(guī)格：
– 行程：50mm（2英寸）、100mm（4英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、250mm（10英寸）、300mm（12英寸）、350mm（14英寸）、400mm（16英寸）、500mm（20英寸）、600mm（24英寸）
– 分辨率：
– 1.5875毫米/轉(zhuǎn)導(dǎo)程：50,000步/轉(zhuǎn)電機(jī)分辨率下的0.03微米
– 6.35毫米/轉(zhuǎn)導(dǎo)程：50,000步/轉(zhuǎn)電機(jī)分辨率下的0.13微米
– 最大速度：
– 1.5875毫米/轉(zhuǎn)導(dǎo)程：10毫米/秒
– 6.35毫米/轉(zhuǎn)導(dǎo)程：50毫米/秒
– 最大負(fù)載：22.6千克（50磅）
– 雙向重復(fù)精度：10微米
– 精度：0.0006毫米/毫米
– 臺(tái)架重量：
– NLS4-2 = 1.3千克（3磅）
– NLS4-4 = 2.1千克（4.7磅）
– NLS4-6 = 2.4千克（5.3磅）
– NLS4-8 = 2.5千克（5.7磅）
– NLS4-10 = 2.8千克（6.3磅）
– NLS4-12 = 3.1千克（6.9磅）
– 材質(zhì)：鋁
– 表面處理：清潔處理
– 工作溫度：0°C至50°C（電機(jī)外殼不應(yīng)超過80°C）
NEMA 17真空兼容步進(jìn)電機(jī)
– 所有油漆和油脂都已從電機(jī)中清除。接下來，采用高溫繞組以及聚四氟乙烯引線。
– NEMA 17高扭矩步進(jìn)電機(jī)
– 0.95安培/相
– 5.0歐姆/相
– 3.1毫亨/相
– 每步1.8度
– 與以下運(yùn)動(dòng)控制器兼容：
– NSC-A1系列
– NSC-G系列
