MCALLISTER MB20系列多軸超高真空運動平臺標(biāo)準(zhǔn)特性與優(yōu)勢：
1. 上法蘭傾斜調(diào)節(jié)功能- 配備±2°角度調(diào)節(jié)范圍
2. 靈活安裝設(shè)計- X軸千分尺可自由選擇安裝在機械手的左側(cè)或右側(cè)
3. 波紋管系統(tǒng)- MB2000系列配備4.0英寸（101毫米）內(nèi)徑波紋管（支持圓形運動軌跡）
4. 結(jié)構(gòu)設(shè)計
– 采用緊湊堅固的全Z軸框架結(jié)構(gòu)
– 為超過36英寸（900毫米）的長行程提供卓越剛性支撐
– 配備可調(diào)式交叉滾柱軸承增強整體穩(wěn)定性
5. 運動性能
– XY軸行程可選：
? ±0.5英寸（12.5毫米）
? ±1.0英寸（25毫米）圓形運動軌跡
– 標(biāo)準(zhǔn)X/Y/Z軸分辨率優(yōu)于0.0005英寸（12.5微米）
– 可選配高精度大型千分尺系統(tǒng)
? 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.00005英寸（1.25微米）
6. 便捷升級- 支持現(xiàn)場15分鐘內(nèi)快速轉(zhuǎn)換為步進電機驅(qū)動系統(tǒng)
7. 法蘭配置
– 標(biāo)準(zhǔn)配置帶螺紋上法蘭（可根據(jù)需求提供無螺紋版本）
– 標(biāo)準(zhǔn)基座法蘭：
? 6.0英寸（150毫米）Conflat真空法蘭
– 可選基座法蘭：
? 8英寸/10英寸或更大尺寸Conflat法蘭
8. 行程范圍
– Z軸標(biāo)準(zhǔn)行程：4-36英寸（100-900毫米）
– 更長行程需求請咨詢皕赫
（注：Conflat為超高真空法蘭國際標(biāo)準(zhǔn)，確保真空密封性能）
MCALLISTER MB20系列多軸超高真空運動平臺
