Logosol,晶圓機(jī)器人,晶圓機(jī)械手,Diamond,H4,晶圓處理平臺(tái)?DiamondH4系列雙臂大氣機(jī)器人 Diamond H4 系列雙臂大氣機(jī)器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計(jì)和可靠性方面的重大工程進(jìn)步。 兩個(gè)獨(dú)立的臂（R1 和 R2）連接到一個(gè)共同的旋轉(zhuǎn)軸（T），可以實(shí)現(xiàn)快速交換或同時(shí)轉(zhuǎn)移兩個(gè)晶圓。

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