LOGOSOL,晶圓處理桌面機(jī)器人,H-zero,晶圓機(jī)械手,Diamond?系列大氣機(jī)器人在晶圓處理設(shè)備的設(shè)計(jì)和可靠性方面代表了顯著的工程進(jìn)步。憑借技術(shù)優(yōu)越的組件，機(jī)器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機(jī)，配合零背隙的哈莫尼驅(qū)動(dòng)?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。

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