Logosol,LPA812-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器特征:
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì),取消了外部控制器和連接電纜,同時(shí)保持即插即用的兼容性
采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)且即時(shí)的響應(yīng)先進(jìn)的掃描電子技術(shù)可在無需機(jī)械重新定位的情況下,檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體,適用于不同尺寸的晶圓
運(yùn)動(dòng)控制軟件具備一整套常用指令,支持與多種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容與接口連接
典型的對(duì)準(zhǔn)周期小于四秒,有助于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最大吞吐量
Logosol,LPA812-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格:
晶圓直徑:200mm, 300mm
晶圓不透明度:透明、半透明、不透明
方形基片:適用的
晶圓搬運(yùn):真空卡盤和定位銷
居中精度:預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±25微米
角度精度 (3 Sigma) :
10000 CPR 編碼器:預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±0.04°
24000 CPR 編碼器: 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器卡盤上的精度為 ±0.02°
伺服軸:三
主機(jī)通信:RS232,以太網(wǎng)
最大初始晶圓偏移:12mm
外形尺寸(寬 × 長(zhǎng) × 高):173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性:
LPA312-3, LPA1218-3
LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量:5.40kg
所需設(shè)施:100-240VAC,50/60Hz,48VA,或 24VDC/2A 真空:12 英寸汞柱(Hg)
切邊/缺口兼容性:符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度:Class 1
平均無故障時(shí)間MTBF:超過7萬小時(shí)
Logosol,LPA812-3獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器一般尺寸規(guī)格: