Logosol,預(yù)對(duì)準(zhǔn)器獨(dú)立式,LPA,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于200mm晶圓,減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于200mm晶圓,對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板,接觸區(qū)：邊緣接觸，接觸寬度為1mm,減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達(dá)6mm）。

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