美國(guó),Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機(jī)器人,運(yùn)動(dòng)范圍：13.267英寸（337mm）從硬止點(diǎn)到硬止點(diǎn),13.188英寸（335mm）可用跨度，具有軟件限制

美國(guó),Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機(jī)器人規(guī)格：

最大速度：8英寸/秒
最大加速度：12英寸/秒2
軸重復(fù)精度：+/‐ 0.001英寸（0.025mm）

晶圓尺寸：2英寸（50mm）至12英寸（300mm）
載荷：25公斤（55.1磅）
重量：21公斤（46.5磅）

潔凈度等級(jí)：Class 1
基礎(chǔ)真空度：最高可達(dá)1×10‐9 Torr
泄漏率：< 1×10‐9 std.cc/sec He

工作溫度：
真空側(cè)：最高100oC（212oF）
大氣側(cè)：10oC ‐ 40oC（50oF ‐ 104oF）

電機(jī)類(lèi)型：無(wú)刷，低慣性，高響應(yīng)
編碼器類(lèi)型：增量式，10000脈沖/轉(zhuǎn)（電機(jī)軸）

設(shè)施要求：
電壓范圍：100‐120 VAC，200‐240 VAC

控制接口：LDCN機(jī)器人從設(shè)備（可串聯(lián)RS‐232接口）
通用數(shù)字I/O
可選：智能設(shè)備，RS‐232和以太網(wǎng)（Telnet）接口

暴露于真空的材料：鋁、不銹鋼、波紋管（AM‐350 SST退火）

安裝配置：
可定制法蘭（顯示為200mm底部安裝法蘭）

帶內(nèi)置控制器和電源的機(jī)身尺寸：
（無(wú)需外部控制器）：8.70” x 7.98” x 22.05” （221mm x 203mm x 560mm）

美國(guó),Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機(jī)器人尺寸和運(yùn)動(dòng)范圍：

http://www.guanyatd.com/logosol/美國(guó),Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機(jī)器人/

https://www.bilibili.com/opus/1019934241832566786?spm_id_from=333.1387.0.0