Logosol LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,邊緣處理
Logosol邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器
創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預(yù)對準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應(yīng)力影響，保持最大的清潔度。提供標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號。
高吞吐量的預(yù)對準(zhǔn)器，具有基于專有設(shè)計的快速更換功能，允許在銷針?biāo)揭韵逻M行晶圓夾具裝載。
Logosol預(yù)對準(zhǔn)器選型：
